技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、半導体機能素子の製造技術に使用されている「ドライプロセス・装置」および「真空・プラズマ技術」について基礎から解説いたします。
特に真空蒸着、スパッタリング、CVD、ALDによる成膜技術および薄膜を微細加工するドライエッチング技術を解説いたします。
合わせて、ドライプロセスの基盤となっている真空・プラズマ技術に関して解説いたします。
シリコン半導体集積回路素子、フラットパネルディスプレイ、固体撮像素子や発光ダイオードなどの半導体機能素子によって私たちの生活は飛躍的に豊かになりました。これらの素子はドライプロセスを利用した薄膜形成技術によって製造されています。昨今、リスクマネジメントの観点から、これらの機能素子の製造を国内回帰する動きが強まっていて、改めて薄膜形成と真空技術に関する期待が高まっています。
今回、この需要に応えるため半導体機能素子の製造技術に使用されている「ドライプロセス・装置」および「真空・プラズマ技術」に関して解説します。特に真空蒸着、スパッタリング、CVD、ALDによる成膜技術および薄膜を微細加工するドライエッチング技術を解説します。合わせて、ドライプロセスの基盤となっている真空・プラズマ技術に関して解説します。
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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/3/2 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/3/4 | 先端半導体デバイスにおけるCu/Low-k多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化技術の基礎〜最新開発動向 | オンライン | |
| 2026/3/4 | プラズマの基礎特性と半導体成膜、エッチングでの応用技術 | オンライン | |
| 2026/3/5 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
| 2026/3/5 | 水素バリア材料の開発と評価 | オンライン | |
| 2026/3/6 | 測定・評価技術から取り組む薄膜の剥離・密着性の改善と制御 | オンライン | |
| 2026/3/6 | 生成AIの隆盛に伴う半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版) | オンライン | |
| 2026/3/6 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
| 2026/3/9 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |
| 2026/3/11 | スパッタ・蒸着・CVDによる薄膜形成技術の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/3/12 | スパッタ・蒸着・CVDによる薄膜形成技術の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/3/13 | プラズマの基礎特性と半導体成膜、エッチングでの応用技術 | オンライン | |
| 2026/3/16 | クライオエッチングの反応メカニズムと高アスペクト比加工技術 | オンライン | |
| 2026/3/17 | ロール to ロール高機能フィルム製造のための製膜・延伸技術と塗布・ラミネート技術 | オンライン | |
| 2026/3/18 | ロール to ロール高機能フィルム製造のための製膜・延伸技術と塗布・ラミネート技術 | オンライン | |
| 2026/3/19 | プラズマ処理による難接着材料の表面・界面設計と接着性向上 | オンライン | |
| 2026/3/23 | ALD (原子層堆積法) における原料、プロセスの開発と膜質、膜特性の向上 | オンライン | |
| 2026/3/24 | プラズマ処理による難接着材料の表面・界面設計と接着性向上 | オンライン | |
| 2026/3/25 | SiC半導体における表面形態制御とメカニズム | オンライン | |
| 2026/3/26 | Roll To Roll製造・量産技術における各工程の要素技術の実践 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2025/3/31 | エッチングの高度化と3次元構造の作製技術 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |