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本セミナーでは、大気圧・真空プラズマ技術について基礎から解説し、従来のウェットプロセスとプラズマプロセスなどのドライプロセスとの比較を通して、プラズマプロセスの特徴を解説いたします。
現在、抱えている現在の技術課題の解決にプラズマを用いることができるか、また今後のプラズマプロセスの導入の具体的なご検討を頂けるような事例を紹介いたします。

本セミナーでは、プラズマ照射により材料表面で生じている現象等、基礎事項の解説から、各種材料 (金属、ポリマー等) の表面改質や機能性発現技術までわかりやすく解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマの発生と表面改質・処理の原理から応用まで事例を交えて解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマの発生と表面改質・処理の原理から応用まで事例を交えて解説いたします。

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマについて取り上げ、エネルギー・環境問題におけるプラズマ技術の役割から、プラズマの発生方法、反応システムの組み立て方、プラズマやガスの計測方法、エネルギー効率の求め方や注意点、異なるプラズマプロセスの比較方法などをわかりやすく解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマについて取り上げ、エネルギー・環境問題におけるプラズマ技術の役割から、プラズマの発生方法、反応システムの組み立て方、プラズマやガスの計測方法、エネルギー効率の求め方や注意点、異なるプラズマプロセスの比較方法などをわかりやすく解説いたします。

本セミナーでは、プラズマエッチングの基礎から解説し、チャンバー材料の腐食やパーティクルの発生を抑えるための技術を解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマについて取り上げ、エネルギー・環境問題におけるプラズマ技術の役割から、プラズマの発生方法、反応システムの組み立て方、プラズマやガスの計測方法、エネルギー効率の求め方や注意点、異なるプラズマプロセスの比較方法などをわかりやすく解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマについて取り上げ、エネルギー・環境問題におけるプラズマ技術の役割から、プラズマの発生方法、反応システムの組み立て方、プラズマやガスの計測方法、エネルギー効率の求め方や注意点、異なるプラズマプロセスの比較方法などをわかりやすく解説いたします。

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

本セミナーでは、低温大気圧プラズマについて基礎から解説し、表面改質の経時変化と保持の考え方、低温かつ高速処理の両立、接着前処理、コーティング、医療など豊富な事例と共に解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマの研究開発を行う上で必要となる基本的な考え方、特有の物理科学現象、簡易的なプラズマの診断手法、最新の応用について実例を挙げて解説いたします。
また、プラズマが不得意とする領域への代替手段として用いられるレーザーの基礎知識と応用例についても紹介いたします。

本セミナーでは、プラズマの物理的・化学的基礎から始めて、プラズマ発生装置、プラズマCVD、プロセス解析のための計測方法、プロセスのモニタリング・制御、材料合成への応用、特にナノ・微粒子材料合成の方法について分かりやすく解説いたします。