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プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応

半導体デバイス向けプラズマ装置による高品質成膜へ

プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応

~装置メーカーの立場から、プラズマCVD装置の技術/課題と対策を解説~
オンライン 開催

このセミナーは2024年5月に開催したセミナーのオンラインセミナー:オンデマンド配信です。
オンラインセミナーは、お申し込み日より10営業日の間、動画をご視聴いただけます。
お申込は、2024年10月30日まで受け付けいたします。
(収録日:2024年5月22日 ※映像時間:約2時間42分)

概要

本セミナーでは、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心に紹介いたします。

開催日

  • 2024年10月30日(水) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プラズマCVDの応用分野の技術者、研究者
    • 太陽光発電
    • ハイバリア成膜
    • 親水・撥水
    • ディスプレイ
    • 集積回路
    • ミニマルファブなど

修得知識

  • プラズマCVD装置の基礎
  • プラズマCVDの開発技術、周辺技術
  • プラズマCVD技術の課題と対策

プログラム

 当社は、1989年から「研究開発用半導体一貫製造システム」の開発を開始して、装置メーカーとして、30年以上の実績・経験があります。この講演では、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心にご紹介いたします。

  1. プラズマCVD装置の基本構造
    1. プラズマCVD装置の構成
    2. 反応チャンバーの基本構成
  2. プラズマCVD装置の用途
    1. 適用アプリケーション
  3. プラズマCVD装置のプロセス性能
    1. SiH4系SiO2膜
    2. SiH4系SiN膜
    3. SiH4系SiON膜
    4. SiH4系a-Si膜
    5. SiH4系SiC膜
    6. TEOS系SiO2膜
    7. 液体ソース系SiN膜
  4. 開発用装置と量産用装置
    1. プラットフォーム
  5. プラズマCVD装置の課題と対策
    1. 高レート化
    2. プロセスの再現性
    3. 低パーティクル
    4. チャンバークリーニング
    5. ウェーハ温度の低温化
    6. ウェーハ大口径化 など
    • 質疑応答

講師

  • 金尾 寛人
    SPPテクノロジーズ 株式会社 製造部
    次長

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 32,400円 (税別) / 35,640円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
  • 3名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

オンデマンドセミナーの留意点

  • 申込み後、すぐに視聴可能なため、本セミナーのキャンセルは承りかねます。 予めご了承ください。
  • 録画セミナーの動画をお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 3営業日後までに、メールをお送りいたします。
  • 視聴期間は申込日より10営業日の間です。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • 動画視聴・インターネット環境をご確認ください
    • セキュリティの設定や、動作環境によってはご視聴いただけない場合がございます。
    • サンプル動画が閲覧できるかを事前にご確認いただいたうえで、お申し込みください。
  • 本セミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。
本セミナーは終了いたしました。

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