技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、プラズマの物理的・化学的基礎から始めて、プラズマ発生装置、プラズマCVD、プロセス解析のための計測方法、プロセスのモニタリング・制御、材料合成への応用、特にナノ・微粒子材料合成の方法について分かりやすく解説いたします。
本セミナーでは、プラズマの物理的・化学的基礎から始めて、プラズマ発生装置、プラズマCVD、プロセス解析のための計測方法、プロセスのモニタリング・制御、材料合成への応用、特にナノ・微粒子材料合成の方法について分かりやすく講述する。
プラズマ化学反応を利用した材料合成・加工の技術に関する研究開発には50年ほどの歴史がある。特に半導体・電子産業において著しい進展があり、最近はナノ・微粒子材料の作製や、医療・環境・農業などの分野へも展開がなされている。プラズマは高いエネルギーの状態にあり、制御次第で、高速の電子やイオンを利用して効果的かつ自在に材料の合成・加工を行える潜在性を有し、様々な応用がなされてきた。しかし反面、非線形・自己組織化的特徴があり、周囲の環境などに敏感に応答して変化するため、プロセスの最適化や再現性についての課題もある。
したがって、プラズマプロセスを真に有用な技術として利用するには、プラズマの物理を理解し、現象をその場でモニタリング・解析しながら制御することが重要となる。
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開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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発行年月 | |
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2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
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2017/10/23 | カーボンブラック 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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2016/5/16 | カーボンナノチューブの応用技術 (2016年版) 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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