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真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ

電子産業向け

真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ

~真空機器を使う上での必須知識、薄膜作製・エッチングでの運用ポイント~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、真空の基礎から解説し、真空機器を運用することで問題を解決する手法を解説いたします。

開催日

  • 2024年5月14日(火) 10時30分 16時30分

修得知識

  • 各種トレンドデバイスの製造には真空技術が欠かせないこと
  • 各種トレンドデバイスを製造する真空機器の特徴と解決した問題点
  • 真空技術の特徴、
  • 真空技術の応用技術
  • 真空技術の基本
  • 真空の作り方、測り方
  • 電子産業で必要な高真空・超高真空技術の応用分野
  • 真空技術を使用することで解決した問題点
  • 今後の製造産業の展望

プログラム

 私たちが生活を営む中で真空や真空技術を意識することはあまりありません。しかしながら家庭の中でも身近に真空機器が使用されています。例えば掃除機は真空ポンプの一種です。また魔法瓶は真空断熱技術を応用した機器です。更に、電球、蛍光灯からLED照明、真空管から半導体集積回路素子、ブラウン管からフラットパネルディスプレイ、撮像管から固体受光素子、最新の食品・医療・分析技術など、昨今のトレンドデバイスはほぼ全て真空技術の進歩と共に進化して来たものです。
 今回の講座では、改めて真空の特徴と真空技術の基本を解説します。更にその基本知識を応用し、真空機器を運用することで問題を解決する手法を解説します。新しいデバイスの提案無くしては、製造産業の発展はあり得ません。今回の講座を通して、真空技術と共に皆様のお仕事のお手伝いをさせていただくことを期待しています。

  1. はじめに
    1. 真空とは?:産業で取り扱う「真空」の定義
    2. 真空技術の特徴と用途
    3. ノーベル賞と真空技術
  2. 真空技術の基本
    1. 圧力とは?:真空の程度を表す指標である圧力_大気圧は変動する
    2. 真空の分類
    3. 真空下での気体の挙動と特徴
    4. 平均自由行程と粘性流・分子流
    5. 超高真空の必要性と分子の入射頻度
    6. ガス流量を考える:安定したガス流用制御技術
  3. 真空技術の電子産業応用
    1. 純度を確保するためのガス配管管理:サイクリックパージ
    2. 真空充填技術:液晶注入
    3. 清浄表面の確保と真空:クラスター装置の設計指針
    4. 成膜時の膜純度確保と真空:到達圧力の影響
    5. CVD原料の蒸発速度と飽和蒸気圧
    6. 低温プラズマプロセスを実現する真空
    7. 低蒸気圧の化学物質を取り扱う真空装置の設計
  4. 真空を作る・測る
    1. 真空容器
    2. 真空ポンプ
    3. 真空計
    4. 真空部品
  5. 高真空・超高真空の機器と運用
    1. 電子産業と真空技術
    2. 薄膜形成技術1: PVD・蒸着・スパッタリング
    3. 薄膜形成技術2: CVD・ALD
    4. 薄膜加工技術 ドライエッチング
    5. 真空断熱技術:静電チャックの裏面パージを考える
    6. 真空応用分析機器
  6. まとめ
    1. 今後の製造産業を考える
    2. 更に真空技術を勉強されたい方へ
    • 質疑応答

講師

  • 関口 敦
    工学院大学 教育支援機構
    特任教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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