技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/8/20 | コーティングプロセスにおける界面化学とレオロジー解析 | オンライン | |
| 2025/8/25 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
| 2025/8/27 | 塗料・塗膜 (塗装系) の基礎と塗装欠陥 (発生メカニズムと対策、評価技術) | 東京都 | 会場 |
| 2025/8/27 | ゾル-ゲル法の基礎と高機能性材料設計への応用・新展開 | オンライン | |
| 2025/9/10 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
| 2025/9/25 | 押出・延伸・冷却による構造制御と可視化・解析による機能発現の最適化 | オンライン | |
| 2025/10/8 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
| 2025/10/20 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
| 2025/10/22 | 塗工プロセスにおける乾燥技術の基本、実際とプロセス・条件の最適化、乾燥起因トラブルへの対策 | 愛知県 | 会場 |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |