技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
会場受講 または オンラインセミナーのいずれかをご選択いただけます。
お申し込みの際、受講方法の欄にて、会場受講またはオンライン受講をご指定ください。
オンラインセミナーをご選択の場合、以下の流れ・受講内容となります。
※会場で受講の場合、このサービスは付与されませんのでご注意ください。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/12/25 | ダイ塗布プロセスの欠陥メカニズム・課題と対策 | オンライン | |
2025/1/7 | 高品質スラリー調製のための分散技術とその安定化、評価方法 | オンライン | |
2025/1/8 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
2025/1/10 | 高機能化、高性能化のための表面処理法の基礎と表面分析法 | オンライン | |
2025/1/15 | スラリー中粒子の分散・凝集状態の制御に向けた評価技術 | オンライン | |
2025/1/17 | ぬれ性のメカニズムと測定・評価・利用法 | オンライン | |
2025/1/20 | 大気圧プラズマの基礎と最新応用技術 | オンライン | |
2025/1/20 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
2025/1/20 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
2025/1/22 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
2025/1/22 | ゾル-ゲル法の基礎と高機能性材料設計への応用・新展開 | オンライン | |
2025/1/23 | 粉体・微粒子の表面処理と機能性ナノコーティング技術 | 会場・オンライン | |
2025/1/24 | ぬれ性のメカニズムと測定・評価・利用法 | オンライン | |
2025/1/28 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
2025/1/28 | めっきの基礎とプラスチックへのめっき技術 | オンライン | |
2025/1/28 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
2025/1/29 | 薄膜作製の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
2025/1/29 | 超親水化・超撥水化のメカニズムと評価および制御技術 | オンライン | |
2025/1/29 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
2025/1/30 | 高分子の接着性改善と表面処理、界面の構造評価技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |