技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、各成膜方法から、パターニング手法、転写技術、洗浄乾燥、表面処理、クリーンルーム、安全への配慮まで、薄膜電子デバイスのプロセス構築・設備導入における実用ノウハウを解説いたします。
薄膜電子デバイスには多種多様の材料が用いられる。その結果、成膜方法もパターニング方法も多様化する。その中でどの方法を選択するのが適切か、選択した方法をどのような条件で使っていくか決定しなければならない。その時、闇雲に進めても良い結果が得られるとは限らない。理論に裏付けされた方法を基本にして実験データで確認してあるいは発見して進めていくことになる。
本講演では、成膜、リソグラフィ、エッチング、洗浄等の基本を利用する立場で解説し、それらのプロセス条件など使いこなし方を説明していく。工場設備として構築する際の安全を含めた注意点にも触れ、電子デバイスのプロセス開発から量産までの全てを網羅する様に解説する。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/6/12 | 半導体用レジストの材料設計とその評価 | オンライン | |
2024/6/12 | フィルムの乾燥プロセス技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/6/12 | レジスト/EUVレジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
2024/6/13 | 半導体洗浄の基礎と洗浄機内の流れ・反応および洗浄法の評価方法 | オンライン | |
2024/6/13 | 異物ゼロへのアプローチ | オンライン | |
2024/6/20 | カビの発生予測、混入、発生防止と「カビ毒」の基礎知識 | オンライン | |
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2024/6/21 | EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性 | オンライン | |
2024/6/25 | 界面・表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識と密着性の改善技術と評価方法 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/6/25 | 分子プレカーサー法による機能性薄膜の形成と応用事例 | オンライン | |
2024/6/26 | フィルムの乾燥プロセス技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/6/27 | クリーンルームの基礎と作業員・清潔度維持管理のポイント | オンライン | |
2024/6/28 | 食品工場における異物混入の原因究明と防止対策 | オンライン | |
2024/6/28 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/6/28 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/6/28 | レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 | オンライン | |
2024/7/2 | EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性 | オンライン | |
2024/7/3 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/5 | レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 | オンライン | |
2024/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン |
発行年月 | |
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2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2022/5/23 | クリーンルーム〔2022年版〕(CD-ROM版) |
2022/5/23 | クリーンルーム〔2022年版〕 |
2020/10/30 | クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/4 | 食と健康の高安全化 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2011/9/25 | クリーンルーム 技術開発実態分析調査報告書 |
2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
2009/11/30 | クリーンルームの必須基礎知識と作業員教育 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |