技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
薄膜電子デバイスの作製プロセス最適化と設備導入のポイント
薄膜電子デバイスの作製プロセス最適化と設備導入のポイント
～どこに注目すべきか、失敗しないプロセスと設備のつくり方～
東京都 開催
会場 開催
本セミナーは終了いたしました。
概要
本セミナーでは、各成膜方法から、パターニング手法、転写技術、洗浄乾燥、表面処理、クリーンルーム、安全への配慮まで、薄膜電子デバイスのプロセス構築・設備導入における実用ノウハウを解説いたします。
開催日
- 2018年5月24日(木) 10時30分 ～ 16時30分
プログラム
薄膜電子デバイスには多種多様の材料が用いられる。その結果、成膜方法もパターニング方法も多様化する。その中でどの方法を選択するのが適切か、選択した方法をどのような条件で使っていくか決定しなければならない。その時、闇雲に進めても良い結果が得られるとは限らない。理論に裏付けされた方法を基本にして実験データで確認してあるいは発見して進めていくことになる。
本講演では、成膜、リソグラフィ、エッチング、洗浄等の基本を利用する立場で解説し、それらのプロセス条件など使いこなし方を説明していく。工場設備として構築する際の安全を含めた注意点にも触れ、電子デバイスのプロセス開発から量産までの全てを網羅する様に解説する。
- プロセス技術開発における課題と解決法
- 各成膜技術の特徴と選択、条件設定における着目点
- 蒸着及びスパッタリング
- 塗布、めっき及び熱処理
- パターニング手法構築における注意点
- リソグラフィ
- 描画
- 他
- 各転写技術の特徴及び選択における着目点
- 化学エッチング
- ドライエッチング
- リフトオフその他の技術
- 洗浄乾燥及び表面処理における着目点
- 全体プロセス構築における課題
- 各成膜技術の特徴と選択、条件設定における着目点
- 設備選択及び使用における課題と解決法
- 真空装置導入
- 蒸着
- スパッタリング
- ドライエッチング
- 熱処理
- 搬送
- 他
- 液体に関係する装置の導入
- 洗浄装置
- 塗布装置
- 現像装置
- めっき装置
- 乾燥装置
- 他
- 測定装置その他装置の導入
- SEM
- 光学顕微鏡
- 化学分析
- 情報機器
- 他
- クリーンルームの構想決定及び純水製造等の付帯設備の導入
- 作業者及び装置の安全への配慮
- 真空装置導入
- 質疑応答・名刺交換
講師
会場
主催
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。
受講料
1名様
:
42,750円 (税別) / 46,170円 (税込)
複数名
:
22,500円 (税別) / 24,300円 (税込)
複数名同時受講の割引特典について
- 2名様以上でお申込みの場合、
1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。 - 他の割引は併用できません。
本セミナーは終了いたしました。
これから開催される関連セミナー
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/8/18 | 高屈折率ポリマーの分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
| 2025/8/18 | 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2025年夏版) | オンライン | |
| 2025/8/21 | 化粧品製造における微生物トラブルと解決法及び微生物に関する試験法 | オンライン | |
| 2025/8/22 | 化粧品製造における微生物トラブルと解決法及び微生物に関する試験法 | オンライン | |
| 2025/8/25 | レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 | オンライン | |
| 2025/8/25 | クリーンルームの作業員・設備・備品の管理・運用方法とそのノウハウ | オンライン | |
| 2025/8/25 | Roll To Roll製造と各工程における要素技術の実践 | オンライン | |
| 2025/8/26 | クリーンルームの作業員・設備・備品の管理・運用方法とそのノウハウ | オンライン | |
| 2025/8/27 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
| 2025/8/27 | レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 | オンライン | |
| 2025/8/27 | クリーンルームにおけるゴミ・異物対策および静電気対策の基礎と実践 | オンライン | |
| 2025/8/27 | ゾル-ゲル法の基礎と高機能性材料設計への応用・新展開 | オンライン | |
| 2025/9/4 | スパッタ・真空蒸着による成膜技術と膜質改善技術の徹底解説 | オンライン | |
| 2025/9/5 | スパッタ・真空蒸着による成膜技術と膜質改善技術の徹底解説 | オンライン | |
| 2025/9/5 | 真空成膜技術・装置の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/9/5 | 微粒子・微生物の環境モニタリング測定方法と留意点、アラート/アクションレベルの設定・管理 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/9/5 | クリーンルームの基礎と作業員・清潔度維持管理のポイント | オンライン | |
| 2025/9/8 | GMPに基づいた衛生管理とその徹底 | オンライン | |
| 2025/9/8 | クリーンルームの基礎と作業員・清潔度維持管理のポイント | オンライン | |
| 2025/9/9 | 医薬品工場の計画・設備設計及びバリデーションの進め方とトラブル対応 | オンライン |
関連する出版物
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2025/3/31 | エッチングの高度化と3次元構造の作製技術 |
| 2024/9/30 | 最新GMPおよび関連ICHガイドライン対応実務 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2022/5/23 | クリーンルーム〔2022年版〕(CD-ROM版) |
| 2022/5/23 | クリーンルーム〔2022年版〕 |
| 2021/4/30 | 封止・バリア・シーリングに関する材料、成形製膜、応用の最新技術 |
| 2020/10/30 | クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/4 | 食と健康の高安全化 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2011/9/25 | クリーンルーム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
| 2009/11/30 | クリーンルームの必須基礎知識と作業員教育 |