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ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)のセミナー・研修・出版物

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

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本書籍は、薄膜の内部応力・硬さ・密着力のメカニズム・測定・評価、付着力・剥離などトラブル対策に必携の技術書です。
不良対策・成膜条件最適化と高品質な膜を作るためのケーススタディが詰まった一冊です。

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