技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
ALD (原子層堆積法) の基礎・表面反応と高品質薄膜形成
Atomic Layer Deposition
ALD (原子層堆積法) の基礎・表面反応と高品質薄膜形成
東京都 開催
会場 開催
本セミナーは終了いたしました。
概要
本セミナーでは、LSI、MEMS、太陽電池、機械部品、各種製品へのコーティングなどへの応用が期待されるALD (原子層堆積法) について基礎から解説し、ALDによる薄膜形成の問題と対策について解説いたします。
開催日
- 2018年7月20日(金) 13時00分 ～ 16時30分
受講対象者
- ALDに関連する技術者
- 高誘電膜
- 機能性膜
- 電極
- バリアメタル
- 絶縁膜
- 化合物半導体
- LSI
- MEMS
- リチウム電池
- 太陽電池
- 機械部品
- 各種製品へのコーティングなど
修得知識
- 原子層堆積法の基礎
- 吸着反応機構
- 表面酸化
- モニタリング技術
- プロセス調整
プログラム
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティングにも活用が検討されています。原子層堆積での高品質膜の達成のため、表面反応を中心とした反応機構の理解と、モニタリング、そして適切な材料選択、プロセス調整の知識が欠かせません。
山形大学ではこれまで原子層堆積法のその場観察と低温化研究を進めてまいりましたが、我々の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構理解の達成を目標とします。さらに最新研究成果として3D – CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について紹介いたします。
- 原子層堆積法の基礎
- 原子層堆積法とは?
- 原子層堆積の開発の歴史
- 熱ALDとプラズマALD
- 事例紹介
- 原子層堆積における表面反応機構
- 原料分子の吸着反応 ～ラングミュア – 型解離吸着～
- 飽和吸着のモニタリング手法
- プリカーサーの選択
- 吸着表面の酸化反応
- 酸化種の選択
- 酸化物表面と水の反応
- 酸化物表面と水素脱離
- フォーミングアニールと界面層の問題
- 不純物モニタリング法
- 山形大学開発3D – CoolALD (室温三次元成膜ALD) のご紹介
- SiO2の室温形成事例とペットボトル・アクリル樹脂コーティング
- 生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング
- Al2O3の室温形成事例と防蝕コーティング応用
- HfO2の室温形成事例
- 質疑応答・名刺交換
講師
会場
主催
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。
受講料
1名様
:
38,000円 (税別) / 41,040円 (税込)
複数名
:
20,000円 (税別) / 21,600円 (税込)
複数名同時受講の割引特典について
- 2名様以上でお申込みの場合、
1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。 - 他の割引は併用できません。
本セミナーは終了いたしました。
これから開催される関連セミナー
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/4/22 | 電子機器の防水設計の基礎と応用・不具合対策 | オンライン | |
| 2024/4/23 | ポリマー表面へのタンパク質吸着制御と評価、表面設計 | オンライン | |
| 2024/4/23 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
| 2024/4/23 | めっき膜の密着性評価と剥離対策 | オンライン | |
| 2024/4/25 | 耐指紋・防汚性材料の設計、評価、応用、今後の展望 | オンライン | |
| 2024/4/25 | プラスチックフィルムの表面処理・改質技術と接着性の改善評価方法 | オンライン | |
| 2024/4/26 | 塗布膜乾燥プロセスの解明・考察・本質の理解と塗布膜の設計、不良・欠陥対策への応用 | オンライン | |
| 2024/4/26 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場 |
| 2024/5/6 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
| 2024/5/7 | 異種材料接着に向けた金属の表面処理技術と接着性の改善 | オンライン | |
| 2024/5/8 | 高分子の接着性改善と表面処理、界面の構造評価技術 | オンライン | |
| 2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
| 2024/5/16 | 半導体めっきの基礎とめっき技術の最新技術動向 | オンライン | |
| 2024/5/17 | 化粧品粉体の基礎と表面処理 | オンライン | |
| 2024/5/21 | ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術 | オンライン | |
| 2024/5/21 | ラミネート技術の基礎・トラブル対策とヒートシール技術のポイント | オンライン | |
| 2024/5/21 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2024/5/22 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
| 2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
| 2024/5/24 | 基材表面への防曇性付与と持続性の向上 | オンライン |
関連する出版物
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |