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ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)のセミナー・研修・出版物

原子層エッチングの原理、プロセス最適化と微細加工技術

2018年3月26日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、原子層エッチングのメカニズムから最先端の原子層エッチング開発事例まで、第一線の講師陣が解説いたします。

原子層堆積法 (ALD) の原理、反応機構と成膜技術

2017年9月25日(月) 10時00分17時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向

2017年6月26日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2017年3月30日(木) 10時00分16時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2016年3月18日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

水蒸気バリア技術と水蒸気透過性の測定・評価

2015年12月16日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーではバリア膜の用途・市場、水蒸気透過率の測定法、バリア膜の作製法、バリア膜の特性を紹介し、良質なバリア膜を得るための指針、バリア膜の現状と課題について解説いたします。

2日間で注目の薄膜堆積法を徹底マスター

2015年3月6日(金) 10時30分16時30分
2015年3月16日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本コースは、ALD (原子層堆積法) とプラズマCVD (化学気相堆積法) のセミナーをセットにしたコースです。
セット受講で特別割引にてご受講いただけます。
2テーマ 通常受講料 : 通常受講料 : 92,340円 → 2コース申込 割引受講料 76,950 円

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ALD (原子層堆積法) の基礎と展開

2015年3月6日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
また、ALDプロセスの理想と実際について、原理から詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。

ALD (原子層堆積法) の基礎と展開 / プラズマCVDによる薄膜作成と装置・応用技術

2014年3月26日(水) 10時30分16時30分
2014年3月27日(木) 10時30分16時30分
2014年3月28日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD のセミナーを2テーマセットにしたコースです。
セット受講で特別割引にてご受講いただけます。

通常受講料 : 114,600円(税込) → 割引受講料 89,700円(税込)

ALD (原子層堆積法) の基礎と展開

2014年3月26日(水) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
また、ALDプロセスの理想と実際について、原理から詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。

ULSI多層配線技術の基礎と最新動向

2011年12月14日(水) 10時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ULSI多層配線技術について基礎から解説し、関連する材料、装置、周辺技術への期待と要求について、デバイスメーカーの最前線の開発責任者が解説いたします。

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化のサムネイル画像

本書籍は、薄膜の内部応力・硬さ・密着力のメカニズム・測定・評価、付着力・剥離などトラブル対策に必携の技術書です。
不良対策・成膜条件最適化と高品質な膜を作るためのケーススタディが詰まった一冊です。

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