技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、エッチングの原理、装置、メカニズム、トラブル対策まで、経験豊富な講師が解説いたします。
(2019年9月10日 10:00〜14:00)※途中、昼食休憩含む
プラズマエッチングは、フィン型電界効果トランジスタなどの先端半導体デバイスを製造する上で、必要不可欠な技術である。モノのインターネット (IoT) の普及により、データ処理を担う半導体デバイスの更なる性能向上が求められており、デバイス構造の微細化と三次元化が進んでいる。これに伴ってプラズマエッチングには、原子層レベルの制御性が求められている。次世代の三次元デバイスでは、深さ方向の高制御加工に加え、横方向の高制御加工も必要となる。本講演では、プラズマエッチング技術について、エッチングの原理から、技術動向、装置、プロセス制御、そして最先端の原子層エッチング開発事例までを、メーカで各種デバイスのエッチングプロセス開発に携わってきた講師が、実経験を交えて分かり易く解説する。
(2019年9月10日 14:15〜17:00)
企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方、プロセス設計に従事されている方、デバイス信頼性評価に従事されている方などを対象とし、プラズマの基礎から、最先端プラズマプロセスにおける大きな課題「プラズマ誘起ダメージの発生機構」とその抑制についてお話します。大学で理系科目を習得していれば特に問題なく理解できると思います。また、講師の企業、大学での勤務経験をもとに、エンジニアとして何が大切か?どうすればいいのか?を伝えたいと思います。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/4/26 | 高屈折率材料の基礎と技術応用超高屈折率材料への分子設計 | オンライン | |
2024/4/26 | 塗布膜乾燥プロセスの解明・考察・本質の理解と塗布膜の設計、不良・欠陥対策への応用 | オンライン | |
2024/4/26 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場 |
2024/4/26 | 共押出多層フィルムの成形技術、押出安定化とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/6 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2024/5/7 | 異種材料接着に向けた金属の表面処理技術と接着性の改善 | オンライン | |
2024/5/8 | 高分子の接着性改善と表面処理、界面の構造評価技術 | オンライン | |
2024/5/9 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2024/5/10 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
2024/5/16 | 半導体めっきの基礎とめっき技術の最新技術動向 | オンライン | |
2024/5/17 | 化粧品粉体の基礎と表面処理 | オンライン | |
2024/5/21 | ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術 | オンライン | |
2024/5/21 | ラミネート技術の基礎・トラブル対策とヒートシール技術のポイント | オンライン | |
2024/5/21 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/5/22 | 防汚コーティング技術の総合知識 | オンライン | |
2024/5/24 | 基材表面への防曇性付与と持続性の向上 | オンライン | |
2024/5/24 | 塗膜の濡れ・付着・密着コントロールとトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/27 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |