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フォトリソグラフィのセミナー・研修・出版物

レジスト材料・プロセスの最適化ノウハウとトラブル対策

2019年6月14日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト材料・プロセスについて基礎から解説し、実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説いたします。

レジスト・リソグラフィの基礎から先端技術について

2019年4月26日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト・リソグラフィの基礎知識および技術動向についてわかりやすく解説いたします。

ダブルパターニング・マルチパターニング技術の基礎とプロセスおよび材料の最適化

2019年3月27日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト処理における寸法ばらつき、重ね合わせ誤差、スペーサ欠陥、パターン欠落等、レジスト工程上で発生する問題の原因とその解決・未然防止について、事例を交えてノウハウを解説いたします。

レジスト材料・プロセスの最適化ノウハウとトラブル対策

2019年2月26日(火) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト材料、レジストプロセスについて基礎から解説し、レジストに関わるトラブルの原因、発生メカニズムとその対策・未然防止策について詳解いたします。

レジスト・微細加工用材料の基礎と最新技術動向

2019年1月25日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、最新の学会発表、論文、特許、業界動向等に基づき、レジスト・微細加工用材料の現状・動向と要求特性、今後の展望について解説いたします。

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策

2018年10月31日(水) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジストの基礎からリソグラフィープロセスの最適化方法までを分かりやすく解説いたします。

レジストの材料・プロセスのノウハウ、最適化法、トラブル対処法

2018年10月11日(木) 10時30分16時30分
京都府 開催

本セミナーでは、これからレジスト材料を使用するユーザー、レジスト材料開発、処理装置開発、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルに注目し、評価・解決のアプローチを丁寧に説明いたします。
また、研究開発・トラブルフォローといった実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説いたします。

光メタマテリアルの基礎・加工技術および応用展開と今後の展望

2018年8月29日(水) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、光メタマテリアルの構造、作製のための加工技術、応用展開、今後の展望、最新動向等、基礎から網羅的に解説いたします。

レジストパターニングを含むフォトリソグラフィープロセスの最適化とその評価

2018年7月5日(木) 12時30分16時30分
大阪府 開催

本セミナーでは、レジスト塗布技術の基礎から密着性を含む現像特性を説明し、レジスト剥離工程において従来の剥離技術、及び新規な環境に優しいレジスト剥離 (除去) 技術について紹介いたします。

薄膜電子デバイスの作製プロセス最適化と設備導入のポイント

2018年5月24日(木) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、各成膜方法から、パターニング手法、転写技術、洗浄乾燥、表面処理、クリーンルーム、安全への配慮まで、薄膜電子デバイスのプロセス構築・設備導入における実用ノウハウを解説いたします。

レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向

2018年5月21日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、最新の学会発表、論文、特許、業界動向等に基づき、レジスト・微細加工用材料の現状・動向と要求特性、今後の展望について解説いたします。

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

2018年5月18日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト材料・プロセスについて基礎から解説し、実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説いたします。

レジスト材料・プロセスおよび周辺技術の総合知識

2017年10月17日(火) 13時00分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、これからレジスト材料を使用するユーザー、レジスト材料開発、処理装置開発、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルに注目し、評価・解決のアプローチを丁寧に説明いたします。
また、研究開発・トラブルフォローといった実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説いたします。

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策

2017年9月21日(木) 12時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジストの基礎からリソグラフィープロセスの最適化方法までを分かりやすく解説いたします。

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

2017年6月22日(木) 12時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト材料・プロセスについて基礎から解説し、実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説いたします。

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

2016年7月27日(水) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、レジスト材料・プロセスについて基礎から解説し、実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えながら解説いたします。

EUVLの量産・実用化までに知っておきたい技術概論と周辺材料・技術への要求変遷と展望

2015年9月11日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、極端紫外線リソグラフィ EUVL の基礎から周辺材料、技術動向について解説いたします。

フォトレジスト材料の評価

2012年12月17日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィの工程に沿って、リソグラフィの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について解説いたします。

超微細パターニング技術 - 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

超微細パターニング技術 - 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセスのサムネイル画像

本書籍は、有機膜、インキ、レジスト、金属、ナノ粒子、CNT、セラミックス、ガラスなどに活用される超微細パターニング技術について網羅した技術書です。

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