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半導体材料のウェットエッチング加工の基礎と動向

半導体材料のウェットエッチング加工の基礎と動向

オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2025年8月18日〜28日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2025年8月18日まで承ります。

概要

本セミナーでは、ウェットエッチング加工特性に影響する要因とその制御方法やグリーン化への取り組みを詳解いたします。

配信期間

  • 2025年8月18日(月) 10時30分2025年8月28日(木) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2025年8月18日(月) 10時30分

受講対象者

  • 半導体材料のウェットエッチングの動向を把握したい技術者、開発者、研究者
  • これから半導体材料のウェットエッチングに携わる方

修得知識

  • ウェットエッチングの基礎知識
  • 単結晶シリコンのウェットエッチング技術の全体像
  • 次世代デバイス材料やグリーンプロセス化についての取り組み

プログラム

 ウェットエッチングの方法、エッチング液、および化学的溶解機構についての知識が得られる.また、エッチング方式を選定するときに必要な実験技術についても把握できる。加えて、半導体材料の代表格である単結晶シリコンのウェットエッチング加工特性とそのメカニズムについての知識が身につくと共に、次世代デバイス系半導体材料のウェットエッチング動向やエッチングプロセスのグリーン化のトピックスを把握できる。

  1. ウェットエッチングの基礎
    1. ウェットエッチング加工が使用されている分野
    2. ウェットエッチング加工の方法
    3. ウェットエッチングのマクロ的な特徴 (等方性と異方性)
    4. ウェットエッチングのミクロ的な特徴 (エッチング機構)
  2. 単結晶シリコンのウェットエッチング加工
    1. 酸系エッチング液による等方性エッチング
    2. アルカリエッチング液による異方性エッチング
      1. アルカリ水溶液によるエッチング加工特性
      2. アルカリ水溶液中でのエッチングメカニズム
      3. エッチング加工特性に及ぼす各種要因
        • 液中金属不純物
        • 電圧
        • 界面活性剤など
      4. エッチングマスクパターンの選択
      5. エッチング特性を把握するための実験方法
  3. 次世代半導体材料のウェットエッチング加工
    1. 次世代半導体材料に使用されているエッチング方法
      • 光電気化学エッチング
      • 金属アシストエッチングなど
    2. SiC、GaN、Ga2O3材料のエッチング加工事例
  4. ウェットエッチングプロセスのグリーン化手法
    • アルカリ水溶液による単結晶シリコンエッチングプロセスでの事例
      1. エッチング液の低濃度化
      2. 液滴エッチングプロセス
    • 質疑応答

講師

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2025年8月18日〜28日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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