技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、それぞれに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/11/21 | 二軸スクリュ押出機を用いたリアクティブプロセシング技術の基礎から応用へ | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2024/11/21 | 架橋技術によるポリマーの性能向上と物性・特性改良方法 | オンライン | |
| 2024/11/21 | 高分子結晶化の基礎と解析技術および結晶成長 | オンライン | |
| 2024/11/22 | マレイン酸変性による樹脂複合材料の界面密着性向上とその構造分析 | オンライン | |
| 2024/11/22 | 押出混練機内の樹脂挙動と混練評価、最適化技術 | 東京都 | オンライン |
| 2024/11/22 | エポキシ樹脂の基礎および各硬化剤の使い方・選び方 | オンライン | |
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| 2024/11/22 | 高分子結晶化のトポロジー的メカニズムとその制御 | オンライン | |
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| 2024/11/26 | ポリマー・高分子材料のモノマー化・解重合技術の基礎とケミカルリサイクルの技術動向 | オンライン | |
| 2024/11/27 | 光硬化型材料の基礎と応用のポイント | オンライン | |
| 2024/11/27 | ゴム・プラスチック材料の破損、破壊原因とその解析法 | 東京都 | 会場 |
| 2024/11/27 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 | オンライン | |
| 2024/11/27 | プラスチックのマテリアルリサイクル技術入門 | オンライン | |
| 2024/11/27 | 加速する国内外のプラスチック規制の動向とリサイクルの最新事情 | オンライン | |
| 2024/11/27 | 粘着・剥離のメカニズムとその制御 | オンライン | |
| 2024/11/28 | 固体高分子材料の動的粘弾性測定 | オンライン | |
| 2024/11/28 | プラスチック成形品の残留応力発生メカニズム&長期信頼性の予測法 | オンライン | |
| 2024/11/28 | 熱分析の基礎、測定と正しいデータ解釈 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2018/3/19 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2018/3/18 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2017/7/31 | 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集 |
| 2017/7/31 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 |
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
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| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |