技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、それぞれに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/12/17 | 天然植物繊維を強化材とする複合材料の基礎と応用 | 東京都 | 会場 |
| 2024/12/17 | 3Dプリンティング技術の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
| 2024/12/17 | プラスチックリサイクル技術の現状・課題・最新動向 | オンライン | |
| 2024/12/17 | 静的・動的光散乱法を中心とした粒径計測の基礎と応用 | オンライン | |
| 2024/12/17 | シリコーンの基本知識と高機能化・トラブル対策 | オンライン | |
| 2024/12/18 | 加工の基礎と機械加工技術 | オンライン | |
| 2024/12/18 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ | オンライン | |
| 2024/12/18 | 半導体用レジストの特性および材料設計とその評価 | オンライン | |
| 2024/12/19 | 高剪断成形加工法の基礎と新規材料創出への応用 | オンライン | |
| 2024/12/19 | ナノ粒子・ナノカーボンへの表面グラフト化による機能付与及び分散性制御 | オンライン | |
| 2024/12/19 | 高分子・ポリマー材料の合成、重合反応の基礎、プロセスと工業化・実用化の総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/19 | シリカ微粒子の基礎 (分類・製法・特性と評価) とポリマーへの配合・複合化技術 | オンライン | |
| 2024/12/19 | 高分子の相溶性と相分離および結晶化の基礎 | オンライン | |
| 2024/12/20 | ゴム材料のトライボロジー入門 | オンライン | |
| 2024/12/20 | 次世代バイオプラスチックの開発最前線 | オンライン | |
| 2024/12/20 | プラスチック加飾技術の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
| 2024/12/20 | 二軸押出機における樹脂流動解析の基礎と AI/IoT 活用展開 | 東京都 | 会場 |
| 2024/12/20 | UV硬化型接着剤の設計・開発と技術動向 | オンライン | |
| 2024/12/23 | 高分子延伸による分子配向・結晶化制御技術 | 東京都 | 会場 |
| 2024/12/23 | プラスチックリサイクル技術の現状・課題・最新動向 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
| 2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
| 2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
| 2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |