技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
情報システム社会の発展は目覚ましく、パーソナルコンピュータは今や一人一台を所有する。最近では、スマートフォンが手のひらコンピューティングを可能にするなど、私たちの生活を劇的に変えている。また 、取り扱うデータ量も増大しており、ビッグデータと呼ばれる単一のデータ集合内で数十テラバイトから数ペタバイトの範囲のデータをやり取りする時代が到来している。そこに、IoT (Internet of Things) やIoE (Internet of Everything) と呼ばれる、すべての「モノ」がインターネットにつながることで、自動認識や自動制御、遠隔計測などを行うことが発展してきている。
これらの発展はメモリやCPU (中央演算処理装置 ) 等の半導体電子デバイスの技術革新によって支えられており、この電子デバイスの技術 革新は 半導体微細加工技術の進展によるものである。現在は、EUVリソグラフィー技術により、20nmレベルの微細加工が可能となっており、本講座では、このEUVリソグラフィー技術の概要とプロセス評価技術について解説する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/5/12 | ゴム材料における摩擦・摩耗現象の理解と制御・対処に必要な基礎知識 | オンライン | |
| 2026/5/13 | プラスチック用添加剤の基礎と選び方・使い方のポイント、その注意点 | オンライン | |
| 2026/5/14 | 半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版) | オンライン | |
| 2026/5/14 | 高分子材料のトライボロジー : トライボロジーの基礎から摩耗・摩擦低減技術の手法と特徴まで | オンライン | |
| 2026/5/14 | プラスチック強度設計の基礎知識 | オンライン | |
| 2026/5/14 | ブリードアウトの発生メカニズムと制御、測定法 | オンライン | |
| 2026/5/14 | 高分子結晶機構・分析 / ポリマーの相溶性・相分離 (2日間) | オンライン | |
| 2026/5/14 | 高分子結晶の成長機構、構造の特徴と各種分析法 | オンライン | |
| 2026/5/15 | 半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版) | オンライン | |
| 2026/5/15 | 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年春版) | オンライン | |
| 2026/5/15 | 高分子材料のトライボロジー : トライボロジーの基礎から摩耗・摩擦低減技術の手法と特徴まで | オンライン | |
| 2026/5/15 | プラスチック強度設計の基礎知識 | オンライン | |
| 2026/5/15 | プラスチック発泡体の製法、特性・機能性、評価、不良原因とその対策 | オンライン | |
| 2026/5/15 | 5G/6G時代の高周波基板材料に求められる特性と材料設計・低誘電損失化技術 | オンライン | |
| 2026/5/15 | ポリマーにおける相溶性・相分離メカニズムと目的の物性を得るための構造制御および測定・評価 | オンライン | |
| 2026/5/15 | 高分子の難燃化メカニズムと低誘電樹脂の難燃化技術 | オンライン | |
| 2026/5/18 | イオン交換樹脂の選定・運用、劣化・トラブル対策、応用のポイント | オンライン | |
| 2026/5/18 | ポリマー・高分子材料 (樹脂・ゴム材料) における変色劣化反応の機構とその防止技術 | オンライン | |
| 2026/5/19 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と構造・物性制御 | オンライン | |
| 2026/5/19 | ポリマーアロイの相溶性、構造解析、界面構造制御と新規ポリマーアロイの開発 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/7/31 | 高耐熱樹脂の開発事例集 |
| 2018/4/12 | 自動車用プラスチック部品の開発・採用の最新動向 2018 |
| 2018/3/19 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2018/3/18 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2017/7/31 | 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集 |
| 2017/7/31 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 |
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |