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極端紫外線リソグラフィ (EUVL: Extreme Ultraviolet Lithography)のセミナー・研修・出版物

半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年秋版)

2026年10月9日(金) 10時30分2026年10月23日(金) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体と製造工程の基礎から、装置・材料への要求、AIによる製造技術の変化、地政学と2030年までの業界展望までを体系的に解説いたします。

先端および次世代EUVリソグラフィー技術の基礎、最新技術動向と今後の展望

2026年9月18日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、極端紫外線リソグラフィー技術について、EUV光源技術、多層膜技術、光学系技術、マスク技術、レジスト技術等、基盤技術全般にわたって解説いたします。

半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年秋版)

2026年9月17日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体と製造工程の基礎から、装置・材料への要求、AIによる製造技術の変化、地政学と2030年までの業界展望までを体系的に解説いたします。

レジスト材料とリソグラフィ技術の最適化とトラブル解決策

2026年9月11日(金) 10時30分2026年9月18日(金) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、レジストの基礎からリソグラフィープロセスの最適化方法までを分かりやすく解説いたします。

レジスト材料とリソグラフィ技術の最適化とトラブル解決策

2026年9月10日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、レジストの基礎からリソグラフィープロセスの最適化方法までを分かりやすく解説いたします。

半導体リソグラフィの全体像

2026年9月4日(金) 13時00分2026年9月17日(木) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィ用光源開発の最新動向から最先端のハイブリッドDUVレーザーの高密度実装への応用の現状について解説いたします。
また、半導体製造プロセス全体におけるリソグラフィから、各露光装置について、レジスト材料の原理までを解説いたします。

半導体リソグラフィの全体像

2026年9月3日(木) 13時00分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィ用光源開発の最新動向から最先端のハイブリッドDUVレーザーの高密度実装への応用の現状について解説いたします。
また、半導体製造プロセス全体におけるリソグラフィから、各露光装置について、レジスト材料の原理までを解説いたします。

EUVレジスト・リソグラフィの基礎とプロセス最適化・最新開発動向

2026年7月13日(月) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィ技術を中心に、EUVレジスト・リソグラフィの基礎とプロセス最適化・最新開発動向、他のリソグラフィ技術と比較した際の優位点、実用化・普及の可能性、その微細加工材料などに関する最新動向、講師の最新成果を解説いたします。

リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた先端技術、今後の展望

2026年7月2日(木) 10時30分2026年7月15日(水) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、レジスト・リソグラフィ技術・材料開発の事例を学びながら今後の効率的な技術開発・不良防止・トラブル対策への応用を丁寧に解説いたします。

リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた先端技術、今後の展望

2026年6月18日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、レジスト・リソグラフィ技術・材料開発の事例を学びながら今後の効率的な技術開発・不良防止・トラブル対策への応用を丁寧に解説いたします。

ナノインプリントリソグラフィの材料・プロセス技術と半導体回路形成への応用

2026年6月2日(火) 10時30分2026年6月12日(金) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ナノインプリントについて取り上げ、ナノインプリントリソグラフィ (NIL) の原理、長所と短所、欠陥対策、そして今注目を集める応用技術を詳解いたします。

ナノインプリントリソグラフィの材料・プロセス技術と半導体回路形成への応用

2026年5月22日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ナノインプリントについて取り上げ、ナノインプリントリソグラフィ (NIL) の原理、長所と短所、欠陥対策、そして今注目を集める応用技術を詳解いたします。

半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年春版)

2026年5月15日(金) 10時30分2026年5月28日(木) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版)

2026年5月15日(金) 10時30分2026年5月22日(金) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版)

2026年5月14日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年春版)

2026年4月24日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術

2026年4月17日(金) 13時00分16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVレジストの概要とその評価方法に関する基礎知識、EUVリソグラフィーの基礎知識、EUVフォトプロセスの最適化方法、評価方法について解説いたします。
SPIE Advanced Lithography + Patterning 2026 の聴講報告も行う予定となっております。

生成AIの隆盛に伴う半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版)

2026年4月6日(月) 10時00分2027年3月31日(水) 16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

EUVレジスト/メタルレジストの要求特性、最新技術動向と課題、対策

2026年4月3日(金) 10時30分2026年4月13日(月) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。

EUVレジスト/メタルレジストの要求特性、最新技術動向と課題、対策

2026年3月25日(水) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。

ポジ型およびネガ型レジスト材料の合成と評価方法および分子設計方法

2026年3月9日(月) 10時30分2026年3月19日(木) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。

生成AIの隆盛に伴う半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版)

2026年3月6日(金) 10時00分16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

ポジ型およびネガ型レジスト材料の合成と評価方法および分子設計方法

2026年2月26日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。

先端半導体プロセスで求められるレジスト材料・技術

2026年2月13日(金) 10時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、リソグラフィ工程をはじめ、エッチング、先端パッケージ、チップ間接続・RDLへとレジストの適用が広がる各工程での要求特性を体系的に解説いたします。

半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2025年版)

2026年1月13日(火) 10時00分16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版)

2026年1月13日(火) 10時00分16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

半導体製造装置・材料の技術トレンド、ニーズと求められる戦略

2026年1月6日(火) 13時00分2026年1月16日(金) 17時00分
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本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2025年冬版)

2026年1月6日(火) 10時30分2026年1月20日(火) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

次世代リソグラフィ技術の最新動向と今後の展望

2025年12月23日(火) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。

半導体製造装置・材料の技術トレンド、ニーズと求められる戦略

2025年12月19日(金) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造装置/技術動向の全般を俯瞰し、AIを中心にした新しい半導体技術への変化の中で取るべき戦略について解説いたします。

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