技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

EUVリソグラフィの最新動向と課題解決への技術開発

Zoomを使ったライブ配信セミナー

EUVリソグラフィの最新動向と課題解決への技術開発

～光学系、レジスト、マスク、ペリクルと評価技術～
オンライン 開催
関連するセミナー・出版物
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する 関連するセミナー・出版物を探す

概要

本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。

開催日

  • 2020年8月27日(木) 10時30分 ～ 16時30分

受講対象者

  • 紫外線硬化樹脂に関連する技術者、開発者、研究者
    • ナノインプリント
    • 電子部品・光学部品などの接着・乾燥
    • 印刷インキの乾燥
    • 塗料・塗装コーティング剤の乾燥・硬化
    • 光ファイバ等の保護コーティング
    • 光造形
    • 3Dプリンター
    • ジェルネイル等の装飾品 など
  • 紫外線硬化樹脂の初心者、これからUV硬化性樹脂の開発に携わる方
  • 紫外線硬化処理で課題を抱えている方

プログラム

　EUVリソグラフィ技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。欧米、アジアを中心に半導体技術の世界覇権争いが激化しています。このような状況の中で、EUVリソグラフィ技術開発の黎明期から、現在、そして今後の展望を正しく理解し、今後の半導体およびその周辺技術開発に生かして頂きたいと考えています。これを目的にして、EUVリソグラフィの光学系、レジスト、マスク、ペリクル技術に加えて、これらの評価技術について紹介します。兵庫県立大学では1996年より25年間に亘り、EUVリソグラフィの基盤技術開発に取り組んで参りました。ニュースバル放射光施設でのEUVリソグラフィ技術開発にも言及したいと存じます。

  1. リソグラフィ技術全般について
  2. EUVリソグラフィ技術の重要性について
  3. EUVリソグラフィの開発の歴史
  4. EUリソグラフィの技術課題
  5. EUV用光学系および多層膜技術について
  6. EUV用レジスト材料・プロセス技術について
  7. EUV用マスク技術について
  8. EUV用ペリクル技術について
  9. 今後のEUVリソグラフィ技術動向
  10. 今後の半導体技術展望
    • 質疑応答
ページのトップヘ

講師

  • 渡邊 健夫 氏
    兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
    所長 / 教授
ページのトップヘ

主催

株式会社 技術情報協会
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 60,000円 (税別) / 66,000円 (税込)
複数名
: 55,000円 (税別) / 60,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。

本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する
ページのトップヘ

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2025/8/22 ポリイミドフィルムの特性、技術動向と加工、応用 オンライン
2025/8/22 部分放電から学ぶ絶縁材料の劣化機構とオンライン診断技術 オンライン
2025/8/22 高分子難燃化・不燃化の基礎と難燃性評価およびその規制動向 オンライン
2025/8/25 自動車用防振ゴムの劣化メカニズムと耐久性試験・寿命予測 オンライン
2025/8/26 エポキシ樹脂 2日間総合セミナー オンライン
2025/8/26 ポリマーブレンド・アロイの基礎と評価方法 オンライン
2025/8/26 光学用透明樹脂の基礎と応用 東京都 会場
2025/8/26 二軸押出機のスクリューデザイン 超入門 オンライン
2025/8/27 ゴム・プラスチック材料のトラブル解決 2コースセット 東京都 会場
2025/8/27 ゴム・プラスチック材料の破損、破壊原因とその解析法 東京都 会場
2025/8/27 自動車用防振ゴムの劣化メカニズムと耐久性試験・寿命予測 オンライン
2025/8/27 熱伝導材料・放熱材料の設計ノウハウと特性評価 オンライン
2025/8/27 射出成形におけるボイド・ヒケの発生メカニズムと予測技術 東京都 会場
2025/8/28 EV電動化モビリティの高電圧絶縁評価技術の基礎と実例 オンライン
2025/8/28 プラスチック発泡体の気泡構造制御と成形条件最適化、トラブル対策 オンライン
2025/8/28 高分子製品・フィルムの劣化と寿命解析 オンライン
2025/8/28 高分子複合材料の力学特性評価と耐衝撃性改善 オンライン
2025/8/28 ポリマーアロイ・ブレンドの基礎とモルフォロジー・物性の制御 オンライン
2025/8/28 プラスチック強度設計の進め方 オンライン
2025/8/28 何方でも理解できる発泡プラスチックの基礎 オンライン
ページのトップヘ

関連する出版物

発行年月
2018/3/18 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2017/7/31 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集
2017/7/31 プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術
2017/6/19 ゴム・エラストマー分析の基礎と応用
2017/2/27 プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術
2017/1/31 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術
2016/8/31 ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ
2014/11/30 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/8/28 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法
2014/6/15 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/6/15 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書
2013/9/2 機能性エラストマー市場の徹底分析
2013/6/26 UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術
2013/5/20 ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書
2013/5/20 ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2013/4/5 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発
2013/2/28 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2013/2/28 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書
2013/2/20 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御
2012/11/1 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ
ページのトップヘ