技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策

~レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術など~
東京都 開催

概要

本セミナーでは、レジストの基礎からリソグラフィープロセスの最適化方法までを分かりやすく解説いたします。

開催日

  • 2018年10月31日(水) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売に携わる方
  • 半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売に携わる方

修得知識

  • レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
  • レジストの品質管理手法
  • レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応
  • リソグラフィープロセスの最適化
  • リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応
  • 素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応

プログラム

  1. リソグラフィの基礎
    1. リソグラフィーとは
    2. 露光システムとリソグラフィー装置の変遷
  2. レジスト材料とその高性能化
    1. パターンニング用レジスト材料 (総論)
    2. G線、i線用レジスト
    3. KrF用レジスト
    4. ArFおよびArF液浸用レジスト
    5. EUV用レジスト
  3. レジスト製造技術と品質管理
    1. レジスト製造技術
    2. レジストの性能安定化技術
    3. 品質管理 – その項目と方法
  4. レジスト材料の評価技術
    1. 性能評価
    2. 品質評価
    3. シミュレーション技術
  5. レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
    1. 種々のトラブルとその解決策 (材料面から)
    2. 種々のトラブルとその解決策 (プロセス面から)
    3. 顧客対応の方法
  6. 20nm以下のリソグラフィー技術
    1. ダブルパターンニング技術
    2. DSA技術とその材料
    3. ナノインプリント技術
    4. 今後のリソグラフィー技術
    • 質疑応答

講師

  • 花畑 誠
    富山県立大学 工学部 機械システム工学科
    客員教授

会場

商工情報センター カメリアプラザ

9F 会議室

東京都 江東区 亀戸2-19-1 カメリアプラザ 9F
商工情報センター カメリアプラザの地図

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)

これから開催される関連セミナー

開始日時
2018/10/19 いよいよブレークを始めた有機ELディスプレイ・照明技術とその応用 東京都
2018/10/23 AI化、IoT化に向けた半導体パッケージ技術の進化と要素技術 東京都
2018/10/24 VRに向けた感覚の提示技術 東京都
2018/10/25 高輝度・高解像度マイクロLEDディスプレイに向けたGaN 東京都
2018/10/26 自動車用センサ技術のすべて 東京都
2018/10/29 FOWLPからFOPLPへ拡張する半導体デバイスパッケージの今後の課題 東京都
2018/11/1 AEC-Q100やJEITA ED-4708を中心とした車載用半導体信頼性認定ガイドライン 東京都
2018/11/9 IMUの基礎・最新動向とその応用 東京都
2018/11/14 生体情報センシングと製品開発への応用の考え方 東京都
2018/11/14 パワーデバイス用SiCにおける熱酸化過程の理解とMOSFETゲート絶縁膜界面制御技術 東京都
2018/11/28 半導体封止材料の設計・製造技術 総合解説 (2日間) 東京都
2018/11/28 半導体封止材料の基礎から組成・原料、製造・評価方法まで 東京都
2018/11/29 バイオセンサ、バイオデバイスの最新動向と製品開発への応用 東京都
2018/11/29 マイクロLED・ディスプレイ 東京都
2018/12/4 機械学習とウェアラブルセンサを用いたココロの可視化 東京都
2018/12/5 触覚フィードバック技術の開発とディスプレイへの応用 東京都
2018/12/5 3Dセンシング技術の基礎と非接触生体センシング 東京都
2018/12/5 マイクロLEDの量産化に向けての製造技術と課題 東京都
2018/12/5 IMU (慣性装置) の基礎と応用 東京都
2018/12/10 自動車の電動化に向けた SiCパワーデバイス・GaNパワーデバイス開発の最新状況と今後の動向 東京都

関連する出版物

発行年月
2018/10/5 コネクティッド社会へ向けたディスプレイおよび高信頼性化技術の最新動向
2018/10/5 車載用デバイスと構成部材の最新技術動向
2018/7/12 スマートウィンドウの基礎と応用
2018/3/20 レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
2018/3/9 量子ドット・マイクロLEDディスプレイと関連材料の技術開発
2018/1/10 SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント
2017/12/25 世界の有機ELディスプレイ産業動向
2017/10/31 フレキシブルOLEDの最新技術動向
2017/7/27 ウェアラブル機器の開発とマーケット・アプリケーション・法規制動向
2017/6/30 生体情報センシングとヘルスケアへの最新応用
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/6/30 マイクロセンサ 技術開発実態分析調査報告書(CD-ROM版)
2014/3/7 画像処理・画像符号化・画像評価法
2014/2/15 3M〔米国特許版〕 技術開発実態分析調査報告書
2014/2/15 3M〔米国特許版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2013/12/15 パワー半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2013/12/15 パワー半導体 技術開発実態分析調査報告書
2013/9/15 カプセル内視鏡 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2013/9/15 カプセル内視鏡 技術開発実態分析調査報告書