技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
スパッタリング法による薄膜作製の基礎と機械的性質の評価
内部応力の発生原因と制御方法について詳細に解説する
スパッタリング法による薄膜作製の基礎と機械的性質の評価
大阪府 開催
会場 開催
本セミナーは終了いたしました。
概要
本セミナーでは、スパッタプロセスによる薄膜形成の基礎から解説し、スパッタ薄膜の評価と、内部応力の発生と対策・制御について詳解いたします。
開催日
- 2016年3月8日(火) 12時30分 ～ 16時30分
受講対象者
- スパッタリング・成膜に関連する技術者
- エネルギー分野
- 反射防止膜保護膜
- 透過膜太陽電池
- 光学分野
- 増透膜
- 反射防止膜
- 偏光膜
- 保護膜
- 赤外透過膜
- 赤外線フィルター
- 紫外線フィルター
- ディスプレイ
- 絶縁膜
- 透明電極
- 発光膜
- 表面処理
- 表面硬化膜
- 固体潤滑膜 など
- エネルギー分野
- スパッタリング・成膜で課題を抱えている方
修得知識
- スパッタリングによる薄膜形成の基礎知識
- 薄膜の機械的性質の評価技術
- 内部応力の発生メカニズムと対処方法
プログラム
スパッタプロセスによる薄膜形成の基礎知識を身につけて頂くとともに、スパッタ薄膜の機械的性質の評価技術について講義します。特に、実際のスパッタリングによる薄膜形成で問題になることの多い内部応力の発生原因と制御方法については詳細に解説します。
- スパッタリングによる薄膜成長の基礎
- 直流スパッタリングと高周波スパッタリング
- 金属薄膜と絶縁体薄膜
- 反応性スパッタリング
- 酸化物、窒化物などの化合物薄膜の形成
- 非平衡マグネトロンスパッタリング
- イオンアシストの利用
- どのように薄膜は形成されるのか
- 薄膜成長機構と膜構造
- 直流スパッタリングと高周波スパッタリング
- スパッタ薄膜の機械的性質の評価方法
- 引張り強さとヤング率、硬さ
- 内部応力
- 密着力
- スパッタ薄膜における内部応力発生のメカニズムとその制御
- 内部応力の発生する原因
- 種々のスパッタ薄膜の内部応力の実例
- 反応性スパッタリング法によって作製した窒化物薄膜の内部応力
- 非平衡マグネトロンスパッタリング法による薄膜の内部応力制御
- まとめ
会場
主催
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。
受講料
1名様
:
46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)
割引特典について
- R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
- 1名でお申込みいただいた場合、1名につき 43,750円 (税別) / 47,250円 (税込)
- 複数名で同時にお申し込みいただいた場合、1名につき 23,139円 (税別) / 24,990円 (税込)
- 案内登録をされない方は、1名につき 46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)
本セミナーは終了いたしました。
これから開催される関連セミナー
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/9/10 | 塗布故障を徹底削減する総合・体系的塗布技術 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/9/10 | コーティング2セミナーセット (精密バーコーティング + 塗布故障) | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/9/14 | 高分子材料のアニール処理を正しく理解する | オンライン | |
| 2026/9/15 | 「濡れる」「濡れない」 のメカニズムと「ぬれ性」を工業的に活用・評価するためのポイント | オンライン | |
| 2026/9/17 | 超親水および超撥水化技術の基礎と開発動向・応用展開 | オンライン | |
| 2026/9/24 | シランカップリング剤の反応、処理層、表面被覆状態、効果の解析 | オンライン | |
| 2026/9/25 | 超親水および超撥水化技術の基礎と開発動向・応用展開 | オンライン | |
| 2026/9/28 | プラスチック成形品の残留応力の発生メカニズムと解放メカニズム | オンライン | |
| 2026/9/28 | 高分子材料のアニール処理を正しく理解する | オンライン | |
| 2026/9/29 | 塗料・塗装工程の基礎と塗膜欠陥の解析・対策技術 | 東京都 | 会場 |
| 2026/9/29 | バリアフィルム作製の基礎とガス透過性メカニズム・評価技術および最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/9/29 | 「濡れる」「濡れない」 のメカニズムと「ぬれ性」を工業的に活用・評価するためのポイント | オンライン | |
| 2026/9/29 | Tダイ成形機の基本と実践、不具合対策 | 東京都 | 会場 |
| 2026/9/29 | フィルム成形・製造の基礎と実際、トラブル対策 | オンライン | |
| 2026/10/1 | バリアフィルム作製の基礎とガス透過性メカニズム・評価技術および最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/10/2 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |
| 2026/10/6 | 薄膜の剥離・破壊のメカニズムと密着性の評価・解析および改善の手法 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/10/7 | シランカップリング剤の基礎、界面構造制御と機能材料への応用 | オンライン | |
| 2026/10/7 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | 愛知県 | 会場 |
| 2026/10/8 | 薄膜の機械的特性と密着性評価 | オンライン |
関連する出版物
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |
| 1986/3/1 | 光学部品の加工・測定技術 |