技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

ポジ型およびネガ型レジスト材料の合成と評価方法および分子設計方法

ポジ型およびネガ型レジスト材料の合成と評価方法および分子設計方法

~KrF、ArF、EB、およびEUV用レジスト材料の開発方法 / レーザー、ランプ… どの波長の光や、どの周波数帯の電子線が溶解性に最適なのか? / 新しい材料開発の動き、フォトレジスト評価の測定機器の使い方、経済安全保障との関連性~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。

配信期間

  • 2026年3月9日(月) 10時30分2026年3月19日(木) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2026年3月9日(月) 10時30分

受講対象者

  • フォトレジストに関連する技術者、開発者、研究者
    • ナノインプリント
    • 電子部品・光学部品などの接着・乾燥
    • 印刷インキの乾燥
    • 塗料・塗装コーティング剤の乾燥・硬化
    • 光ファイバ等の保護コーティング
    • 光造形
    • 3Dプリンター
    • ジェルネイル等の装飾品 など
  • これからフォトレジストに携わる方
  • フォトレジストで課題を抱えている方

修得知識

  • レジスト材料の基礎
  • レジスト材料の開発方法
  • レジスト材料の評価方法

プログラム

 フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに、KrF、ArF、EB、およびEUVレジスト材料の合成例と分子設計指針について基礎から応用までを解説する。
 また、レジスト材料の基礎的な評価方法を解説し、新規なレジスト材料の開発方法について解説しながら、最新のレジスト材料としてEUVレジスト材料の開発方法について解説する。

  1. レジスト材料
    1. 原理
    2. 合成例
    3. 最新の化学増幅型
  2. ポジ型レジスト材料
    1. 材料的な特性
    2. 主な応用・用途
  3. ネガ型レジスト材料
    1. 材料的な特性
    2. 主な応用・用途
  4. 高分子レジスト材料と低分子レジスト
    1. 材料的な特性
    2. 主な応用・用途
  5. レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
    1. レジスト材料の評価項目、評価手法について
    2. レジスト材料の評価方法と開発例
  6. 最新型レジスト材料
    1. メタルレジスト
    2. EB、EUV用レジスト材料
  7. 良く出る質問、ケーススタディ、Q&A
    • 例1 : レジスト組成物としての添加剤の使用目的とは?
    • 例2 : レジスト材料の機械的特性の評価法とは?
    • 例3 : アウトガスの発生原因とその測定方法とは?
    • 例4 : 光源の照射量・時間・強さの調整法とは?
    • 例5 : カリックスアレーンのレジスト材料への可能性は?
    • 例6 : レジスト材料の耐久性、寿命予測法とは?
    • 例7 : レジスト材料に求められる改善点、課題とは?
    • 例8 : レジスト材料の保存管理のポイントは?
    • 例9 : レジスト材料の安全性や規格規制の動きは?
    • 例10 : レジスト材料の海外での研究実例は?
    • 質疑応答

講師

  • 工藤 宏人
    関西大学 化学生命工学部 化学・物質工学科
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2026年3月9日〜19日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。
本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/9/24 エポキシ樹脂の配合設計と硬化剤の選び方、使い方 オンライン
2026/9/24 ポリオレフィン系エラストマーとポリプロピレンのブレンド・改質技術 オンライン
2026/9/24 シランカップリング剤の反応、処理層、表面被覆状態、効果の解析 オンライン
2026/9/28 プラスチック成形品の残留応力の発生メカニズムと解放メカニズム オンライン
2026/9/28 高分子材料のアニール処理を正しく理解する オンライン
2026/9/28 ポリマーへのフィラーのコンパウンド技術およびナノコンポジット化技術の基礎と応用 オンライン
2026/9/28 人工皮革・合成皮革の基礎知識 オンライン
2026/9/29 アクリレートモノマー・オリゴマーの種類、特徴、重合と新しい分子設計の考え方 オンライン
2026/9/29 高分子技術者のためのレオロジー (入門と実践活用) オンライン
2026/9/29 バリアフィルム作製の基礎とガス透過性メカニズム・評価技術および最新技術動向 オンライン
2026/9/29 フィルム成形・製造の基礎と実際、トラブル対策 オンライン
2026/9/29 廃プラスチック再生技術の最新動向 オンライン
2026/9/30 フォトレジストの材料設計と先端半導体プロセス技術 オンライン
2026/9/30 トライボロジーの基礎とプラスチック材料の摩擦摩耗特性向上 オンライン
2026/9/30 押出成形のトラブル対策 Q&A講座 オンライン
2026/9/30 自動車用防振ゴムの劣化メカニズムと耐久性試験・寿命予測 オンライン
2026/9/30 半導体封止材用エポキシ樹脂と硬化剤・硬化促進剤の種類・特徴および新技術 オンライン
2026/9/30 プラスチック・ゴム成形品におけるブリードアウト・ブルームの発生メカニズムと原因分析・防止対策 オンライン
2026/9/30 レジストリソグラフィー技術の基礎と実務およびトラブル対策 オンライン
2026/9/30 EU包装/包装廃棄物規則 (PPWR) の重要事項・最新動向と国内企業に求められる実務対応 オンライン

関連する出版物

発行年月
2018/7/31 高耐熱樹脂の開発事例集
2018/4/12 自動車用プラスチック部品の開発・採用の最新動向 2018
2018/3/19 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書
2018/3/18 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2017/7/31 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集
2017/7/31 プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術
2017/6/19 ゴム・エラストマー分析の基礎と応用
2017/2/27 プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術
2017/1/31 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術
2016/8/31 ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ
2014/11/30 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/8/28 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法
2014/6/15 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/6/15 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書
2013/9/2 機能性エラストマー市場の徹底分析
2013/6/26 UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術
2013/5/20 ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2013/5/20 ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書
2013/4/5 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発
2013/2/28 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書