技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

薄膜技術の基礎

薄膜形成プロセスで遭遇するトラブル対策のための

薄膜技術の基礎

~薄膜の基礎知識から、装置例、実際の適用例、薄膜の評価方法、トラブル対応まで~
オンライン 開催

このセミナーは2025年7月30日に開催したセミナーのオンラインセミナー:オンデマンド配信です。
オンラインセミナーは、視聴開始希望日より10日間、動画をご視聴いただけます。
お申込は、2026年3月31日まで受け付けいたします。
(収録日: 2025年7月30日)

概要

本セミナーでは、実務に必要な真空工学、表面物性工学、プラズマ工学、薄膜工学の知識、各種薄膜形成技術の原理・特徴、所望の特性を得るための薄膜形成条件を決めるための基礎知識、薄膜形成に関するトラブルの診断に必要な基礎について、具体的事例を交えながら詳しく解説いたします。

申込期間

  • 2025年8月1日(金) 10時00分2026年3月31日(火) 16時00分

受講対象者

  • 薄膜形成に関連する研究・開発・製造業務に従事する方、これから携わる方
    • 半導体
    • 電子デバイス
    • 建材
    • 食品産業
    • 医療など

修得知識

  • 実務に必要なレベルの真空工学、表面物性工学、プラズマ工学、薄膜工学の知識
  • 各種薄膜形成技術の原理、特徴に関する知識
  • 所望の特性を得るための薄膜形成条件を決めるための基礎知識
  • 薄膜形成に関するトラブルの診断に必要な基礎知識

プログラム

 薄膜技術は、半導体集積回路やフラットパネルディスプレイなどの電子デバイス製造はもちろんのこと、光学、太陽電池、建材、食品産業、医療と、さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では多機能で高性能な薄膜形成装置が市販されており、かつてと比べて容易に薄膜形成が行えるようになりました。ややもすると、薄膜形成装置は単なるブラックボックスで、そのしくみや薄膜形成の原理をよく理解せず、決められた手順だけ守って日々の仕事をこなす状況になりがちです。
 しかしながら、新規の条件で薄膜形成を行う場合、所望の薄膜を得るためには各種条件が膜質におよぼす影響を考慮しつつ、条件を選択する必要があります。また、薄膜形成プロセスで遭遇する種々のトラブルに際しては、その原因を診断し、適切に対処すること求められます。そのようなときに必要になるのが、薄膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
 本講座では、薄膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

  1. 成膜技術ための基礎知識
    1. 真空工学
    2. 表面物性工学
    3. プラズマ工学
  2. 物理気相成長 (PVD) 法
    1. 真空蒸着法
      1. 原理
      2. 真空蒸着法の種類
      3. 真空蒸着法の留意事項
    2. スパッタ法
      1. 原理
      2. スパッタ法の種類
      3. スパッタ法で作製される薄膜の特長
      4. スパッタ法の留意事項
  3. 化学気相成長 (CVD) 法
    1. 原理
    2. 化学気相成長法の種類
    3. 化学気相成長法による薄膜形成例
    4. 化学気相成長法の留意事項
  4. 薄膜評価法
    1. 形態観察
    2. 膜組成、膜構造分析
    3. 付着力、膜応力測定
    4. 電気的特性、光学的特性測定
  5. 成膜プロセスで遭遇する さまざまなトラブル
    1. 膜質に関するトラブル
    2. 装置に関するトラブル
  6. まとめ
  7. 質疑応答

講師

  • 佐藤 英樹
    三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時申込割引について

複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。

  • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
  • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
  • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)

オンデマンドセミナーの留意点

  • 録画セミナーの動画をお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • ビデオ会議ツール「Vimeo」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト から動作確認をお願いいたします。
  • 視聴期間は視聴開始希望日より10日間です。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料が製本テキストの場合、視聴開始希望日より実働2営業日前に届くように発送いたします。
  • 動画視聴・インターネット環境をご確認ください
    • セキュリティの設定や、動作環境によってはご視聴いただけない場合がございます。
    • サンプル動画が閲覧できるかを事前にご確認いただいたうえで、お申し込みください。
  • 本セミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2025/11/21 エポキシ樹脂の基礎と各硬化剤の使い方およびフィルム化技術 オンライン
2025/12/3 プラズマエッチングにおけるプロセス不良発生の検出とプラズマ耐性材料の評価技術 オンライン
2025/12/4 スパッタ・蒸着・CVDによる薄膜形成技術の基礎とトラブル対策 オンライン
2025/12/5 スパッタ・蒸着・CVDによる薄膜形成技術の基礎とトラブル対策 オンライン
2025/12/8 ウェブハンドリング技術の基礎知識の理解とトラブル対策法、将来のAIとの融合について オンライン
2025/12/10 プラスチックフィルムの種類、添加剤、 製膜、応用、評価 オンライン
2025/12/11 薄膜の剥離メカニズムと密着性の評価、改善手法 オンライン
2025/12/11 Roll To Roll製造における工程技術の基礎と実践的アプローチ オンライン
2025/12/12 Roll To Roll製造における工程技術の基礎と実践的アプローチ オンライン
2025/12/12 プラズマエッチングにおけるプロセス不良発生の検出とプラズマ耐性材料の評価技術 オンライン
2025/12/12 ガスバリア技術の基礎と活用動向およびウェットプロセスによるウルトラ・ハイバリア技術 オンライン
2025/12/16 電子デバイスの製造のための真空・薄膜形成技術の基礎と応用 オンライン
2025/12/18 次世代型スマートテキスタイルが拓く新市場とそれに向けた技術・製品・サービスの開発 オンライン
2025/12/19 プラスチックフィルムの種類、添加剤、 製膜、応用、評価 オンライン
2025/12/23 エポキシ樹脂のフィルム化と接着性の向上、分析・評価 オンライン
2026/1/6 次世代型スマートテキスタイルが拓く新市場とそれに向けた技術・製品・サービスの開発 オンライン
2026/1/8 エポキシ樹脂のフィルム化と接着性の向上、分析・評価 オンライン
2026/1/16 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 オンライン
2026/1/21 フィルム製造における製膜/成形技術とスリット・巻取り技術の基礎と実際 オンライン
2026/1/30 高屈折率ポリマーの分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 オンライン