第1部 先端半導体パッケージ向けTSV、TGVの開発動向と製造プロセスの課題

(2025年7月30日 10:30〜12:00)

　半導体市場は年々拡大しており、2023年実績は〜70兆円、2030年には100兆円に迫る勢いで成長を続けている。半導体の更なる高性能化・小型化には半導体素子の微細化が必須であるが、電気的課題・プロセス複雑化・高コスト化により更なる微細化は限界に近づきつつあると言われている。当該課題に対し、ロジックやメモリなど機能の異なる複数チップを1つの基板上に高密度実装し、スケーリングを保ちつつ高密度化・高性能化・低コスト化を実現する現実的な方法として2.x/3Dパッケージング技術が注目されており、そのキーコンポーネントとしてチップと基板を電気的に接続するインターポーザへの関心が高まっている。インターポーザ材料としては、シリコン・ガラス・樹脂があり、バンプの狭ピッチ化、配線の微細化等、多様化するパッケージ構造へ対応すべく精力的な開発が関連企業・研究機関で進められている。そして、このインターポーザが今後の先端半導体パッケージ高性能化において重要な役割を果たすと考えられている。
　本講演では、従来のシリコンインターポーザに対し、高速信号の伝送特性に優れ、かつ、低コスト化が期待されるガラス&樹脂インターポーザについて比較解説するとともに、インターポーザ製造に関わる要素技術 (穴あけ加工、メッキ等) についてガラスインターポーザを事例に述べる。また、三次元実装関連材料の動向についても触れる。

1. 市場環境
   1. 半導体市場の動向
   2. 半導体パッケージ技術の動向
2. ガラスインターポーザ
   1. ガラス物性
   2. ガラス微細加工技術
   3. Si・ガラス・有機インターポーザのメリット・デメリット
   4. ガラスインターポーザ製造要素技術 (穴あけ加工など)
3. 三次元実装材料の動向
4. まとめ
• 質疑応答

第2部 電界援用による高効率研磨技術の開発

(2025年7月30日 12:50〜13:50)

• 電界環境下におけるスラリーの挙動
• 高効率CMP技術の開発
• 高速回転型研磨技術の開発
• 小径工具 (スモールツール) による半導体基板の迅速研磨技術について
• 小径工具による非球面レンズの迅速率研磨への応用
• 質疑応答

第3部 TSVおよびTGV用硫酸銅めっきプロセスと課題

(2025年7月30日 14:00〜15:30)

　近年、人工知能 (AI) や高機能モバイル端末の普及により、より高い計算性能や多種多様な機能を統合した高機能デバイスが求められている。これらを実現するために日々、半導体技術の微細化技術は「ムーアの法則」にのっとり発展をしてきた。しかしながら昨今では、半導体の微細化が物理的な限界を迎えつつあり、さらなる性能向上を目的にパッケージング技術と新しい材料の技術を組み合わせる“Advanced Packaging (アドバンスドパッケージング) ”と呼ばれる技術が注目されている。
　本講演では、“Advanced Packaging”技術の中の2.XDおよび3D構造に必要な”TSV”および”TGV”用の硫酸銅めっきに着目し解説する。

1. Advanced Packaging技術の必要性
   1. 半導体の性能UPが必須
   2. 微細化の限界か
   3. チップレット化に伴いめっきへの要求性能UP
   4. チップレット化によりTSV、RDL、Cu Pillarの需要が増加
2. TSV用硫酸銅めっき「TIPHARES TVP」
   1. 求められるめっき性能
   2. 従来浴よりも短時間で充填可能
   3. ボイド発生のメカニズム
   4. さらなる短時間化
3. TGV用硫酸銅めっき
   1. インターポーザー向けとコア向け
   2. TGV用硫酸銅めっき
   3. TSV用とTGV用と硫酸銅めっきの比較
   4. 課題
• 質疑応答

第4部 ガラス基板の分断加工技術

(2025年7月30日 15:40〜16:50)

　ガラスをはじめとする脆性材料基板の分断手法として、高速かつ乾式での加工が可能な「スクライブ+ブレイク」法は、液晶ディスプレイの分断工程では広く採用され実績を重ねており、最近では、半導体基板の分断手法としても注目されています。
　本講では、「スクライブ+ブレイク」手法を中心に、ガラス基板の切断技術について解説します。

1. ガラスの分断方法
   1. ガラスの分断方法の概要
2. ツールを用いたスクライブ・ブレーク法によるガラス分断
   1. スクライビングで使用する道具 (ツール) の種類と特徴
   2. スクライブで発生する現象
   3. スクライブによるガラス基板分断メカニズム
   4. その他の基板分断例
3. レーザーを用いたガラス分断
   1. レーザーを用いたガラス基板分断の種類と特徴
   2. 熱応力を利用したガラス基板分断メカニズム
4. まとめ
• 質疑応答