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研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工

研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工

～研磨のプロセスでは何が起こっているのか / パッド、スラリー、コンディショナの作用機構の解明と研磨メカニズムの理解～
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概要

本セミナーでは、CMP等の研磨プロセスにおいて副資材であるパッド、スラリー、コンディショナに焦点をあてて解説いたします。

開催日

  • 2025年5月19日(月) 13時30分 ～ 17時00分

修得知識

  • パッドの基礎
  • パッドのアスペリティを適切に評価できる手法
  • コンディショナの基礎
  • コンディショナの種類と作用機構
  • スラリーの基礎
  • 研磨プロセスの機構

プログラム

　研磨プロセスでは副資材としてパッド、スラリー、コンディショナが用いられます。それらを設計するには、当然のことながら、それらの作用機構を理解しておくことが望まれます。
　本セミナーでは、以下の3つの項目について事例 (実験結果) を交えながら解説します。

  • パッドの役割:
    パッドのアスペリティが研磨 (特に研磨速度) にどのような影響を及ぼすか、をお話しします。さらに、そのアスペリティを適切に評価できる手法についても解説します。
  • コンディショナの役割:
    パッドのアスペリティを適切に作る副資材がコンディショナです。コンディショナにも様々なタイプがありますが、4種類のコンディショナを例にしながら、それらの作用機構を解説します。
  • スラリーの役割:
    研磨プロセスではパッドとウェーハの接触界面へ適切にスラリーが運搬され (流れ込み) 、それに含まれる微細粒子によって研磨が進行します。それでは、そのスラリーの運搬はどのように行われているのか、について解説します。

　それをマクロスケールで見た場合、ミクロスケールで見た場合を比較して、どのような現象が接触界面で行われているのか、を解説します。
　また、これらの知見に基づいて、見える化技術の応用事例として、AI導入研磨装置の開発や、定盤と研磨ヘッドの負荷電流のみの情報から、リアルタイムで研磨レートと摩擦係数を同時予測する手法についてもご紹介します。
　さらに、より高い研磨速度を確保するために開発してきたアシスト加工、とりわけオゾンガスナノバブルスラリー手法についても紹介します。

  1. 自己紹介
  2. 研磨プロセスの概要
  3. パッド
    1. パッドアスペリティの測定・評価手法
    2. パッドアスペリティと研磨レートの関係
    3. 注意事項
  4. コンディショナ
    1. コンディショナの概要と測定・評価手法
    2. 砥粒配列の影響
    3. 砥粒形状の影響
    4. コンディショナの作用機構
  5. スラリー
    1. 研磨レートの定式化
    2. スラリー中における砥粒の流れ場解析
    3. 解析結果と研磨レートの関係
    4. 定式化に向けて
    5. 動的接触観察によるスラリー流れ場
    6. 砥粒接触位置の推定
    7. 砥粒の移動速度と接触点の動き
    8. 研磨レートとの対応関係
  6. 見える化技術の応用事例
    1. 研磨メカニズム理解の終着点
    2. 学習プロセスを導入した知能研磨システムの構築
    3. リアルタイム予測に向けて
  7. アシスト加工
    1. オゾンガスナノバブルスラリー手法
    2. 遊星アシスト手法
    3. 超音波アシスト手法
  8. おわりに
  9. 質疑応答
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講師

  • 畝田 道雄 氏
    岐阜大学 工学部 機械工学科 機械コース 創造システム工学講座
    教授
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,400円 (税別) / 37,840円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
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