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半導体製造のCMP技術・CMP後洗浄の基礎と最新技術および今後の課題・展望

半導体製造のCMP技術・CMP後洗浄の基礎と最新技術および今後の課題・展望

~CMPの原理・装置構成・プロセス技術、CMP後の洗浄の特徴・特有の課題と解決策、今後の配線工程の課題と展望など~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、2030年に向けたSEMI・CMP市場、CMP技術 (工程、基本原理、装置の構成、パフォーマンスの要素、性能とパラメータ、研磨ヘッドのプロファイル制御やプロセスモニタ・コントロール技術等) 、CMP後の洗浄 (洗浄プロセス、薬液を使ったパーティクルの除去メカニズム、乾燥技術、各膜種によるCMPのメカニズムと手段・処理形態、CMP特有の洗浄課題等) 、今後の配線工程の課題と展望などについて解説いたします。

開催日

  • 2025年10月27日(月) 13時00分16時30分

受講対象者

  • CMPに関連する技術者
    • 半導体
    • 半導体装置
    • 半導体材料
    • 純水
    • 薬液
    • 分析機器

修得知識

  • 半導体製造工程のCMP、洗浄の基礎知識
  • 半導体製造工程のCMP、洗浄最新技術
  • 今後の配線工程の課題と展望

プログラム

 昨今の半導体業界の躍進は周知のとおりです。その半導体の電子媒体であるチップ構造も、微細化から三次元化も含めて形態が複雑化しています。その半導体を製造する工程の一つであるCMP技術は、上記要求に対し、更に工程数も増えており、今後も新たな工程でCMPプロセスに期待がかかっています。
 今回のセミナーでは、CMPの基本的なプロセス技術と装置構成について今後CMPに関わる方にも分かりやすく解説します。また、特にCMP後の洗浄については、一般の半導体洗浄との違い、独特なウェーハ表面洗浄について解説し、最後に課題と解決策を提言します。

  1. はじめに … 2030年に向けたSEMI・CMP市場
  2. 半導体製造におけるCMP工程の概要
    1. CMPとは
      1. CMPの主な適用工程
      2. CMP工程数の増加
    2. CMP研磨部の基本構成
      1. 基本原理
        • 基本構成
        • 均一に研磨できる理由
        • CMPパフォーマンスの要素と変数「k」
        • 主なCMP性能とパラメータ
      2. 研磨ヘッドの歴史とプロファイル制御
      3. エンドポイント、プロセスモニタ・コントロール技術
        • TCM, RECM, SOPMの解説
        • プロセスモニタとIn-situプロセスコントロール技術
      4. 装置構成
        • 研磨部
        • 洗浄部
  3. CMP後洗浄の概要
    1. 洗浄プロセスの基礎
      1. 半導体洗浄のはじまり
      2. 半導体洗浄技術の体系
      3. 薬液を使った半導体洗浄の代表的なウェーハ表面からのパーティクル除去メカニズム
      4. DLVO理論
      5. 乾燥技術
    2. 半導体洗浄の中のCMP後洗浄
      1. 一般的な洗浄プロセスとCMP後の洗浄の違い
      2. 各膜種によるCMPのメカニズムと手段、処理形態
  4. 今後のCMP後洗浄の課題
    1. ロードマップ解説
    2. CMP特有の洗浄課題
      • 滞留領域
    3. Cu腐食についての解説
      • DIW溶存ガスによる腐食と抑制
      • その他、電池効果、光、洗浄剤
  5. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 今井 正芳
    株式会社 荏原製作所 精密・電子カンパニー 装置事業部 技術マーケティング課

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,400円 (税別) / 37,840円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

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