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フォトポリマーの材料設計と先端電子材料への応用

フォトポリマーの材料設計と先端電子材料への応用

～感度および解像度向上を目指すときに考えるべきポイント / 光酸発生剤の先端材料への適用ポイントとポリイミド材料の設計応用事例～
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開催日

  • 2024年8月9日(金) 10時30分 ～ 16時00分

受講対象者

  • 紫外線硬化樹脂に関連する技術者、開発者、研究者
    • ナノインプリント
    • 電子部品・光学部品などの接着・乾燥
    • 印刷インキの乾燥
    • 塗料・塗装コーティング剤の乾燥・硬化
    • 光ファイバ等の保護コーティング
    • 光造形
    • 3Dプリンター
    • ジェルネイル等の装飾品 など
  • 紫外線硬化樹脂の初心者、これからUV硬化性樹脂の開発に携わる方
  • 紫外線硬化処理で課題を抱えている方

プログラム

第1部 フォトポリマーの材料設計、プロセスの留意点

(2024年8月9日 10:30〜11:30, 12:10〜13:10)

　LSIや実装の製造で数多くの感光性材料が用いられている。それら感光性材料について、用いられているパターン形成手法について述べ感光性材料の種類をまとめる。
　次いで感光性材料の開発における注意点について述べる。感光性材料が用いられる意義を理解して、開発している人が陥りやすい勘違いや注意点をまとめる。また、感度および解像度向上を目指すときに考えるべき課題を述べる。材料のスクリーニング法についての実例も紹介し、感度や解像度向上の感光性材料開発で直面する課題を考える一助にする。

  1. 材料設計のポイント
  2. 露光現像によるパターン形成
    1. 極性変化型
    2. 分子量変化型
    3. 感光性材料の種類
  3. 感光性材料開発での留意点
    1. 露光装置と光吸収
    2. 光吸収と光化学反応、Lambert-Beer則
    3. 感光性材料内での反応 (固体内反応)
    4. 現像特性の重要性
    5. 感度測定の注意点
    6. 解像性を決める要因
  4. 感度・解像度向上に向けた材料スクリーニングの例
    • 質疑応答

第2部 光酸発生剤の基礎と先端フォトポリマー材料への応用

(2024年8月9日 13:20〜14:50)

　光により高度に反応を制御し、新たな機能を付与するフォトポリマー材料は、幅広い分野に利用され、先端産業において欠かすことのできない光機能性材料である。光により酸を発生する光酸発生剤 (PAG) は、その特性を大きく左右するキー素材の一つである。近年、多様な露光光源の出現や、CTPイメージング、EUVリソグラフィーなど新アプリケーションの登場により、高度で多彩な機能を有するPAGが注目されている。
　本講座では、これらのPAGの基礎的なケミストリーと最新の研究動向を紹介すると共に、先端フォトポリマー材料へのPAGの応用について述べる。

  1. はじめに
  2. フォトポリマー材料とは
  3. 光酸発生剤の基礎
    1. 光酸発生剤の種類
    2. 非イオン性光酸発生剤
    3. イオン性光酸発生剤と光分解機構
    4. 光酸発生剤の高機能化の設計例
  4. 先端フォトポリマー材料への応用
    1. 長波長光を利用する光酸発生剤の設計例
    2. グラフィックス材料への光酸発生剤の応用例
    3. 半導体レジスト材料への光酸発生剤の応用例
  5. まとめ
    • 質疑応答

第3部 ポリイミド材料の開発と先端半導体パッケージへの応用

(2024年8月9日 15:00〜16:00)

　ポリイミドは、電子材料として広く用いられ、半導体の高信頼性化、高性能化に貢献している。
　本講演では、先端パッケージ向け材料としてのポリイミドと再配線用絶縁材料、熱伝導シート、シート状アンダーフィル剤への応用について解説する。

  1. 半導体パッケージの動向
  2. ポリイミド材料について
    1. ポリイミドの特徴
    2. 機能性ポリイミドの設計
  3. ポリイミド材料の先端半導体パッケージへの応用
    1. 再配線用絶縁材料
    2. 熱伝導シート
    3. シート状アンダーフィル剤
    4. 電子部品向け材料
  4. まとめ
    • 質疑応答
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講師

  • 上野 巧 氏
    信州大学 繊維学部 ファイバーイノベーション・インキュベーター施設
    特任教授
  • 土村 智孝 氏
    富士フイルム株式会社 有機合成化学研究所
  • 荒木 斉 氏
    東レ株式会社 電子情報材料研究所
    主任研究員
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主催

株式会社 技術情報協会
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: 55,000円 (税別) / 60,500円 (税込)
複数名
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  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

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