技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/5/21 | 高分子材料のモノマー化、解重合反応とケミカルリサイクルの動向 | オンライン | |
2024/5/21 | 摩擦振動と異音の発生メカニズムと抑制・対処方法 | オンライン | |
2024/5/22 | ナノインプリントの基礎と製品応用・最新動向 | オンライン | |
2024/5/22 | ポリフェニレンサルファイド (PPS) 樹脂の基礎と応用技術の総合知識 | オンライン | |
2024/5/23 | チクソ性 (チキソ性) の基礎と評価および活用方法 | オンライン | |
2024/5/24 | UV硬化とEB硬化の基礎と技術比較および応用技術 | オンライン | |
2024/5/24 | エポキシ樹脂の実用の基礎知識とフィルム化 & 接着性の付与技術とその応用 | オンライン | |
2024/5/24 | 高分子材料における添加剤の基礎知識と分析法、変色の特徴と分析技術 | オンライン | |
2024/5/28 | 樹脂成型の知識 | オンライン | |
2024/5/28 | プラスチックフィルムにおける各樹脂特性、添加剤・成形加工技術および試験・評価方法 | オンライン | |
2024/5/28 | 半導体用レジストの基礎、材料設計、プロセス、評価方法 | オンライン | |
2024/5/28 | 絶縁破壊・劣化の基礎、測定・劣化診断と高分子絶縁材料の高機能化 | オンライン | |
2024/5/28 | 分子シミュレーションの基礎と高分子材料の研究・開発の効率化への展開 | オンライン | |
2024/5/29 | 次世代バイオプラスチックの台頭と破壊的イノベーションのすすめ | オンライン | |
2024/5/29 | マテリアルズ・プロセスインフォマティクスの基礎とポリマー材料設計への応用 | オンライン | |
2024/5/29 | EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術 | オンライン | |
2024/5/29 | 高分子微粒子における各種合成法の基礎と形状制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/29 | 高分子複合材料のレオロジーとメカニズムに基づく材料設計 | オンライン | |
2024/5/30 | 高分子材料の劣化 | オンライン | |
2024/5/30 | 溶解度パラメータ (3D, 4DSP値) の基礎と活用技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/5/28 | 微量ガスの高感度分析方法 |
2012/3/9 | フォトレジスト材料の評価 |
2012/2/28 | UV硬化プロセスの最適化 (新装版) |
2011/11/25 | アクリル酸エステル 技術開発実態分析調査報告書 |
2011/6/20 | 高分子材料のフラクトグラフィ |
2010/12/15 | エポキシ樹脂市場の徹底分析 |
2010/3/1 | シリコーン製品市場の徹底分析 |
2010/2/25 | UV硬化プロセスの最適化2 |
2009/11/24 | 高分子材料の劣化と寿命予測 |
2009/10/1 | 国際化時代のポリエステル樹脂総合分析 |
2009/7/31 | 数式のないレオロジー超入門講座 |
2009/2/5 | 自動車ゴム製品12社分析 技術開発実態分析調査報告書 (PDF版) |
2009/2/5 | 自動車ゴム製品12社分析 技術開発実態分析調査報告書 |
2009/1/16 | 世界のエンジニアリング樹脂 |
2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |