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山本 洋揮

所属

国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構
高崎量子応用研究所
先端機能材料研究部

役職

プロジェクトリーダー

学位

博士 (工学)

講演するセミナー

会場 開催方法
2025/10/10 EUVリソグラフィの技術動向とレジスト材料の開発 オンライン

講演したセミナー

会場 開催方法
2024/1/22 EUVメタルレジストの作製、反応機構と評価 オンライン