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山本 洋揮

所属

国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構
高崎量子応用研究所
先端機能材料研究部

役職

プロジェクトリーダー (上席研究員)

学位

博士 (工学)

専門

  • ビーム応用
  • 微細加工 (レジスト)
  • EUVリソグラフィ
  • 高分子
  • 放射線化学

経歴

  • 2008年 大阪大学 大学院 工学研究科 博士後期課程 修了
  • 2008年 大阪大学 産業科学研究所 特任助教 (常勤)
  • 2011年 大阪大学 産業科学研究所 助教
  • 2018年1月 国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学研究部門 先端機能材料研究部 主任研究員
  • 2018年7月 国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学研究部門 高崎量子応用研究所 先端機能材料研究部、定年制職員、主幹研究員
  • 2019年4月 国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学研究部門 高崎量子応用研究所 先端機能材料研究部、プロジェクトEUV超微細加工材料 プロジェクトチーフ
  • 2022年4月 国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 高崎量子技術基盤研究所 量子機能創製研究センター、量子材料超微細加工プロジェクト研究 プロジェクトチーフ
  • 2025年7月 国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構 高崎量子技術基盤研究所 先端機能材料研究部、プロジェクト量子材料超微細加工研究 プロジェクトリーダー (上席研究員)

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