技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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国立研究開発法人 物質・材料研究機構
電子・光機能材料研究センター
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2025/4/17 | メタルレジストの特徴とEUV露光による反応メカニズム | オンライン | |
| 2025/5/8 | メタルレジストの特徴とEUV露光による反応メカニズム | オンライン |
| 会場 | 開催方法 | ||
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| 2025/3/6 | EUVレジストの高感度化、感度測定とメタルレジストの反応機構 | オンライン | |
| 2024/1/22 | EUVメタルレジストの作製、反応機構と評価 | オンライン |