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酸化ガリウムパワーデバイスの展望と実用化に向けた開発

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酸化ガリウムパワーデバイスの展望と実用化に向けた開発

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概要

本セミナーでは、性能とコスト・量産性のメリットから、次世代パワー半導体用材料として期待される「酸化ガリウム」について、材料の基礎から、トランジスタ、ショットキーバリアダイオードなどデバイス開発の最新事例、今後の課題と展望を解説いたします。

開催日

  • 2021年1月13日(水) 10時00分 ～ 16時10分

プログラム

第1部 酸化ガリウムパワーデバイスの技術と実用化に向けた最新展望

(2021年1月13日 10:00〜13:40)

　酸化ガリウム (Ga2O3) は、次世代パワーデバイス用途の新半導体材料として期待されるに足る、優れた材料物性を有する。また、原理的に大口径かつ高品質な単結晶基板を、融液成長法により安価かつ簡便に作製することができるという、産業上の大きな魅力も合わせ持つ。
　本講演では、Ga2O3パワーデバイスの位置づけ、魅力、物性面での課題について述べた後、最新のエピタキシャル成長およびデバイスプロセス研究開発状況、実用化に向けた展望などについて解説する。

  1. はじめに
    • Ga2O3の材料的特徴 (SiC, GaNとの比較から)
    • 将来的なGa2O3デバイスの用途
  2. Ga2O3エピタキシャル薄膜成長技術
    • ハライド気相成長 (HVPE)
    • 有機金属気相成長 (MOCVD)
  3. Ga2O3トランジスタ
    • 横型MESFET
    • 横型ディプレッションモードMOSFET
    • 横型フィールドプレートMOSFET
    • 横型エンハンスメントモードMOSFET
    • 縦型ディプレッションモードMOSFET
    • 縦型エンハンスメントモードMOSFET
    • 国内外他機関におけるGa2O3トランジスタ開発動向
  4. Ga2O3ショットキーバリアダイオード (SBD)
    • HVPE成長したドリフト層を有する縦型SBD
    • 縦型フィールドプレートSBD
    • Nイオン注入ドーピングを用いて作製したガードリングを有する縦型SBD
    • 国内外他機関におけるGa2O3ダイオード開発動向
  5. まとめ、今後の展望
    • 質疑応答

第2部 β型酸化ガリウムのエピタキシャル成長とその物性評価

(2021年1月13日 14:10〜16:10)

　次世代パワーデバイス半導体材料として着目されている酸化ガリウムについて、その肝となるエピタキシャル成長技術のエッセンスを取り扱います。
　ハライド気相成長法による酸化ガリウム成長について、熱力学解析に基づいた設計プロセス (原料の選定や成長条件の推量など) を解説した後で、実際の成膜結果とのマッチングをご覧いただき、酸化ガリウムの成長挙動を熱力学的な視点で説明していきます。
　また、成長した酸化ガリウム薄膜の物性評価 (結晶性、表面形態、電気的・光学的特性など) をご紹介します。熱力学解析による解釈を適宜織り交ぜ、成長条件が物性に及ぼす影響について解説します。
　本講座は、酸化ガリウムという比較的新しい半導体材料に対して、エピ成長の研究開発をどのように進めていったかを学ぶ良い機会になると考えています。また、将来の新材料への取り組みのヒントになれば幸いと思います。

  1. β酸化ガリウムの特徴
  2. β酸化ガリウム成長反応の熱力学解析
  3. ハライド気相成長法によるβ酸化ガリウム層の成長
  4. ハライド気相成長法により成長したβ酸化ガリウム層の物性評価
    • 質疑応答
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講師

  • 東脇 正高 氏
    大阪公立大学 大学院 工学研究科 電子物理工学分野
    教授
  • 後藤 健 氏
    東京農工大学 大学院 工学研究院 応用化学部門
    助教
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主催

株式会社 技術情報協会
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1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

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  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
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    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方

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