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ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望

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ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望

東京都 開催 会場・オンライン 開催

アーカイブ配信は2020年11月24日ごろ配信開始予定 (視聴期間:配信後10日間)

概要

本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。

開催日

  • 2020年11月16日(月) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者
    • MEMS
    • 半導体
    • 微細回路 など
  • 半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方
  • これからプロセスプラズマを扱う方
  • プロセスガスの開発に携わっている方

修得知識

  • 半導体デバイス製造の開発動向と先端課題
  • ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング
  • ALE (アトミック レイヤー エッチング) の原理
  • ALEの各種手法、および様々な材料のALE研究開発事例

プログラム

 半導体加工の微細化は原子層レベルに到達しており、3次元構造化と積層化による集積度向上が加速しています。また、ポストスケーリングに向けて、新構造トランジスタや新材料の検討が進んでいます。このため今後の半導体製造では、様々な膜種を原子層レベルの寸法精度でエッチング加工する技術が重要になります。
 そこで本講座では、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説します。

  1. 半導体デバイス製造におけるエッチング
    1. エッチングとは
    2. エッチング工程の種類
  2. デバイス動向とエッチングの先端課題
    1. ロジック/メモリーデバイスの動向
    2. エッチングの歴史と先端課題
  3. エッチングの基礎
    1. プラズマエッチング
    2. ウェットエッチング
  4. 従来エッチングの課題
    1. 面内分布
    2. エッチング損傷
  5. アトミック レイヤー エッチング (ALE) の基礎
    1. ALEの原理
    2. ALE手法の分類
  6. 有機金属錯体反応による等方性ALE
    1. La2O3
    2. Co
  7. プラズマアシスト熱サイクルによる等方性ALE
    1. Si3N4
    2. SiO2
    3. TiN
    4. W
  8. ハロゲン化とイオン照射による異方性ALE
    1. Si
  9. フルオロカーボンアシストによる異方性ALE
    1. Si3N4
  10. 今後の課題
    • 質疑応答・名刺交換

講師

  • 篠田 和典
    株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部
    主任研究員

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第1講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

会場受講 / アーカイブ配信対応セミナー

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  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 後日(開催終了後から10日以内を目途)に、メールにてご連絡申し上げます。
  • 視聴期間は10日間です。ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は印刷・郵送いたします。
  • このセミナーに関する質問に限り、後日に講師にメールで質問可能です。(テキストに講師の連絡先を掲載)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,800円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

オンライン受講割引

  • オンライン受講の場合、1名様 30,400円(税別) / 33,440円(税込) で受講いただだけます。
  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 申込みフォームの受講方法から「オンライン」をご選択ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
本セミナーは終了いたしました。

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