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篠田 和典

所属

株式会社 日立ハイテク
ナノテクノロジーソリューション事業統括本部
プロセス東京技術センタ

役職

主任技師

学位

博士 (工学)

専門

  • 半導体製造プロセス

経歴

  • 1993年3月 慶應義塾大学 大学院 理工学研究科 修了
  • 1993年4月 株式会社 日立製作所に入社、光通信用半導体レーザの研究開発に従事
  • 2013年より原子層エッチングの研究開発に従事
    • 株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 主任研究員
  • 2024年 株式会社 日立ハイテクに所属
    • 株式会社 日立ハイテク ナノテクノロジーソリューション事業統括本部 プロセス東京技術センタ 主任技師

受賞

  • 応用物理学会 優秀論文賞
  • 電子情報通信学会 エレクトロニクスソサイエティ賞

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