技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

Zoomを使ったライブ配信セミナー

スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、応力制御や密着性改善のために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルの対処法について解説いたします。

開催日

  • 2020年7月14日(火) 10時00分16時30分

プログラム

 本講演では、スパッタや真空蒸着によって作成される薄膜において、精密な膜質制御しようとする際に必要となる、真空やプラズマの基礎知識から成膜現象の詳細、膜応力や剥離の発生メカニズムと改善策や評価方法、反応性成膜や多層膜における膜質制御に至るまで、具体的な成膜や特性改善事例をまじえながらわかりやすく解説します。主に無機・金属薄膜を取り上げますが、最新の話題を含めてできるだけ幅広い成膜技術を紹介します。スパッタ・真空蒸着のみならず広く薄膜形成プロセスに関わる初学者、中堅 (開発) 技術者に適した内容で、基本知識から実践技術まで系統的に学びたい方、現在成膜や応力・密着力に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方に実際に役に立つ内容を提供したいと思います。

  1. 成膜プロセスと薄膜形成現象の基本
    1. 膜質改善のために薄膜形成プロセスのどこに注意すべきか
    2. スパッタと真空蒸着の違い
    3. 装置と真空を扱うための基礎知識
    4. 成膜開始から薄膜の初期構造や微視的組織が形成されるまでの過程
    5. 成膜パラメータの制御とプロセス最適化の方法
  2. プラズマを利用した膜質制御
    1. 成膜環境と粒子輸送の基本
    2. プラズマとは:制御パラメータと評価方法
    3. プラズマ特性・分布と膜質への影響
    4. イオン・高エネルギー照射現象と粒子打ち込みによる膜質改善のメカニズム
    5. 反応性成膜の基本知識と膜質制御のポイント
  3. 応力と密着性の制御
    1. 膜応力とは:知っておきたい特徴と応力発生のメカニズム
    2. 膜応力低減の各種手法とその考え方
    3. 膜応力の評価手法のポイント
      • X線回折法
      • ラマン分光法
      • 基板曲率法
    4. 薄膜の密着力とは:薄膜/基材界面の構造と密着力の本質
    5. 様々な剥離形態から読み取る密着性低下の要因
    6. 剥離対策の考え方と手法
    7. 密着力の評価方法のポイント:
      • テープテスト
      • ピールテスト
      • 3 (4) 点曲げ試験
      • スクラッチ試験
  4. 多層膜化による膜質制御
    1. (ナノ) 多層膜化による膜質改善の本質と材料設計の考え方
    2. 多層膜化による特性の改善
  5. まとめ
    • 質疑応答

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

アカデミック割引

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)

学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の学生に限ります。
教職員や研究員、企業に在籍されている学生には適用されません。
また、当日学生証をご持参ください。

本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/10/21 スロット塗工の設備設計・高精度化・製造安定化 オンライン
2026/10/22 Roll To Roll塗工製品製造における乾燥技術のコツとツボ オンライン
2026/10/23 機械設計のための「機械の基礎」総ざらい 東京都 会場・オンライン
2026/10/27 シランカップリング剤の分析技術 オンライン
2026/10/27 製造現場における画像処理AIの活用と内製化のポイント オンライン
2026/10/28 リチウムイオン電池セパレータの基礎とコーティングによる機能性向上技術 オンライン
2026/10/28 製造現場における画像処理AIの活用と内製化のポイント オンライン
2026/10/28 材料表面への (超) 撥水性・ (超) 親水性の付与技術と制御および分析・評価、応用技術 オンライン
2026/10/29 ガラス接着技術の基礎と表面処理、応用展開 オンライン
2026/10/30 ポリウレタン系コーティング材料の構造・物性と選定・塗膜形成のポイント オンライン
2026/11/2 ポリウレタン系コーティング材料の構造・物性と選定・塗膜形成のポイント オンライン
2026/11/6 酸化防止剤・HALS・UVAの適切な選定・使用法と高分子劣化対策 オンライン
2026/11/9 めっき技術の基礎と密着性向上・トラブル対策 オンライン
2026/11/9 粉体の基礎と微粒子コーティング・表面改質技術 オンライン
2026/11/10 粉体の基礎と微粒子コーティング・表面改質技術 オンライン
2026/11/12 Roll To Roll塗工製品製造における乾燥技術のコツとツボ オンライン
2026/11/13 塗料・塗装・塗膜の基礎 (含:ライン工程) と塗装外観の欠陥現象の発生メカニズムとその対策 東京都 会場
2026/11/17 高分子材料の設計・加工における副資材/異種材の使いこなし オンライン
2026/11/17 酸化防止剤・HALS・UVAの適切な選定・使用法と高分子劣化対策 オンライン
2026/11/17 高分子接着の基礎と接着性制御に向けた界面の構造・応力評価、表面処理技術 オンライン