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CVD + PVD + プラズマCVD + 表面処理のセミナー・研修・出版物
大気圧プラズマの生成制御と応用技術
本書籍では、フィルム、金属、粉体表面改質、ディスプレイ・半導体洗浄、エッチング、有機・無機薄膜、バイオ処理など、大気圧プラズマの応用技術について網羅した大気圧プラズマ初の技術書籍です。
有機 / 金属・無機界面のメカニズム
本書籍では、トラブル対策に終始しないために、結合の支配因子、温度、電子状態、界面制御の方法を詳解いたします。
薄膜、フィルム、金属、無機物など、界面に起こる現象を理解するための書籍です。
