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今井 正芳

所属

株式会社 荏原製作所
精密・電子カンパニー
装置事業部
技術マーケティング課

経歴

  • 1985年 大日本スクリーン製造 (現SCREENホールディングス) に入社、当初拡散炉の開発に従事。
  • 1989年 洗浄装置研究開発に異動。主に枚葉洗浄プロセス開発に従事。一時、米国出向、Selete出向を経て、マーケティング部門に転向。
  • 2010年 荏原製作所に入社、主にCMPの後洗浄プロセス技術開発に従事。
  • 2022年 荏原製作所 マーケティング部門

学協会

  • 2002年〜2006年 SEAJウェーハプロセスWG 委員 (委員長含む)
  • 2005年〜2009年 STRJ WG4 (配線) 委員
  • 2017年〜 ADMETA委員 (チュートリアル委員長含む)