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真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と安全対策

半導体開発・製造のための

真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と安全対策

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、真空プロセスの基礎から解説し、原料・反応生成物の危険有害性の把握とリスクアセスメントについて詳解いたします。

開催日

  • 2025年1月21日(火) 10時30分 16時30分

修得知識

  • 2024年4月に改正された「自主的な管理を基軸とした新たな化学物質管理」の概要
  • 昨今の半導体機能素子の開発・製造現場で使用する化学物質の危険有害性
  • 原料の危険有害性の把握方法
  • (反応) 生成物の危険有害性の把握方法
  • 真空機器における化学物質の濃縮過程
  • リスクアセスメント手法を活用した安全設計の基礎
  • ガス漏洩検知および排気ガス処理手法
  • 今後の製造産業

プログラム

 2024年4月に厚生労働省から「自主的な管理を基軸とした新たな化学物質管理」として労働安全衛生法が改正され、リスクアセスメント手法による化学物質管理が義務化されました。従来、半導体集積回路素子の製造工場では SEMI S10 規格によって「リスクアセスメント手法による安全対策」が規格化されていました。今回、この手法が一般的な製造現場に適用されることになったのです。
 今回の法令改正を機会に「半導体機能素子開発・製造のための真空プロセスで取り扱う化学物質の危険性と安全対策」を改めてまとめて解説する講座を企画いたしました。今回の講座を通して、半導体機能素子開発および製造現場の安全な化学物質管理を学んでいただければ幸いです。

  1. はじめに
    1. 半導体機能素子の開発・製造と化学物質
    2. 化学物質管理に関する法令の改正
  2. 原料の危険有害性
    1. 原料の危険有害性を考える
    2. SDSとは?
    3. SDSの記載内容
    4. SDSの用語の解説
    5. SDS記載の法令
  3. (反応) 生成物の危険有害性
    1. (反応) 生成物の危険有害性を考える
    2. プロセスの構築と排気ガス分析
    3. 化学物質の危険有害性の調査方法
  4. 真空プロセスにおける濃縮
    1. 真空プロセスのおける化学物質の濃縮
    2. 濃縮工程を避ける
  5. リスクアセスメント手法による安全設計の基礎
    1. 自主的な管理を基軸とした新たな化学物質管理:厚生労働省通達
    2. リスクアセスメント手法による安全設計
    3. リスクアセスメント
    4. リスク低減対策の実施
    5. ALARPの原則
  6. ガス漏洩検知機
    1. ガス漏洩検知機の考え方
    2. ガス漏洩検知機の種類
  7. 排気ガス処理
    1. 排気ガス処理方法の考え方
    2. 排気ガス処理方法の種類
    3. 吸着棟方式
    4. 燃焼方式
  8. まとめ
    1. 今後の製造産業を考える
    2. 更に勉強されたい方へ
    • 質疑応答

講師

  • 関口 敦
    工学院大学 教育支援機構
    特任教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
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    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
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