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ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

～反応機構、モニタリング、材料選択、プロセス設計、低温化、応用事例～
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概要

本セミナーでは、講師の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構について解説いたします。
また、最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。

開催日

  • 2024年7月25日(木) 13時00分 ～ 17時00分

受講対象者

  • 原子層堆積法 (ALD) に関連する技術者、開発者
    • LSI
    • MEMS
    • 太陽電池
    • 機械部品
    • PETボトルへのコーティング 等
  • 原子層堆積法 (ALD) で課題を抱えている方

修得知識

  • 吸着反応機構
  • 表面酸化
  • モニタリング技術
  • プロセス調整

プログラム

　原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティングにも活用が検討されています。原子層堆積での高品質膜の達成のため、表面反応を中心とした反応機構の理解と、モニタリング、そして適切な材料選択、プロセス調整の知識が欠かせません。
　山形大学ではこれまで原子層堆積法のその場観察と低温化研究を進めてまいりましたが、我々の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構理解の達成を目標とします。さらに最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。

  1. 原子層堆積法の基礎
    1. 原子層堆積法とは
    2. 原子層堆積の開発の歴史
    3. 熱ALDとプラズマALD
    4. 事例紹介
  2. 原子層堆積における表面反応機構
    1. 原料分子の吸着反応 〜ラングミュア-型解離吸着〜
    2. 飽和吸着のモニタリング手法
    3. プリカーサーの選択
    4. 吸着表面の酸化反応
    5. 酸化種の選択
    6. 酸化物表面と水の反応
    7. 酸化物表面と水素脱離
    8. フォーミングアニールと界面層の問題
    9. 不純物モニタリング法
  3. 山形大学開発室温三次元成膜ALDの解説
    1. SiO2の室温形成事例とペットボトル・アクリル樹脂コーティング
    2. 生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング
    3. Al2O3の室温形成事例
    4. HfO2の室温形成事例
    5. Fe2O3の室温製膜事例
    6. アルミナシリケート薄膜の室温製膜事例とイオン吸着フィルターへの応用
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主催

株式会社 R&D支援センター
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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
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