技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/6/17 | ブリードアウト・ブルームの基礎と制御方法 | オンライン | |
| 2024/6/17 | プラスチック・ゴムの劣化メカニズムと劣化評価法および高耐久性設計 | オンライン | |
| 2024/6/17 | 分子動力学 (MD) 法の基本原理・具体的な技法から高分子材料開発への応用 | オンライン | |
| 2024/6/18 | 高分子絶縁材料の劣化メカニズムと部分放電計測ならびに寿命評価 | オンライン | |
| 2024/6/19 | 粘弾性測定を用いた材料物性評価 | オンライン | |
| 2024/6/20 | 高分子結晶化の基礎と制御および分析技術 | オンライン | |
| 2024/6/20 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2024/6/21 | 熱分析入門 | オンライン | |
| 2024/6/21 | EUVを中心としたリソグラフィ技術の最新動向とレジスト材料への要求特性 | オンライン | |
| 2024/6/21 | エポキシ樹脂の耐熱性向上と機能性両立への分子デザイン設計および用途展開における最新動向 | オンライン | |
| 2024/6/21 | ゴム・高分子材料のトライボロジー特性と接触面の観察および評価方法 | オンライン | |
| 2024/6/21 | アニオン重合の基礎知識と高分子の精密制御 | オンライン | |
| 2024/6/21 | 分子動力学 (MD) 法の基本原理・具体的な技法から高分子材料開発への応用 | オンライン | |
| 2024/6/24 | 粘着剤の基礎知識と評価法 | オンライン | |
| 2024/6/24 | 光学用透明樹脂の基礎と光学特性制御および高機能化 | オンライン | |
| 2024/6/25 | フィラーの分散・充填技術およびナノコンポジットの研究開発動向 | オンライン | |
| 2024/6/25 | 高分子の粘弾性挙動と時間-温度換算則の活用事例 | オンライン | |
| 2024/6/26 | UV塗料の設計における必須基礎知識と今後の塗料設計の留意事項 | オンライン | |
| 2024/6/27 | フィルム製膜における延伸・配向制御、その評価と応用 | オンライン | |
| 2024/6/27 | 二軸スクリュ押出機を用いたリアクティブプロセシング技術の基礎から応用へ | 東京都 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |
| 2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |
| 2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
| 2012/9/27 | 熱膨張・収縮の低減化とトラブル対策 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |