技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/6/23 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2025/6/23 | 絶縁材料の劣化メカニズムと部分放電計測ならびに寿命評価 | オンライン | |
| 2025/6/24 | フィルム製膜における延伸・配向制御、その評価と応用 | オンライン | |
| 2025/6/24 | 各種プラスチック成形品の破損トラブルと原因解析 | オンライン | |
| 2025/6/25 | 押出成形の基礎と成形不良の原因・対策 | オンライン | |
| 2025/6/25 | ポリウレタンフォームの材料設計と機械特性の解析、予測 | オンライン | |
| 2025/6/26 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
| 2025/6/26 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/26 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/26 | 高分子の相溶性と結晶化の基礎的理解と高次構造形成の考え方 | オンライン | |
| 2025/6/27 | 各種プラスチック成形品の破損トラブルと原因解析 | オンライン | |
| 2025/6/27 | プリント基板用エポキシ樹脂・硬化剤・硬化促進剤の種類と特徴および新技術 | オンライン | |
| 2025/6/27 | DSAリソグラフィへ向けたブロック共重合体の合成と自己組織化プロセス | オンライン | |
| 2025/6/30 | UV硬化樹脂の硬化不良要因と硬化状態の測定・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/30 | タイ分子の基礎と応用 | オンライン | |
| 2025/7/1 | 固体高分子材料の動的粘弾性測定 | オンライン | |
| 2025/7/1 | 高分子の相溶性と結晶化の基礎的理解と高次構造形成の考え方 | オンライン | |
| 2025/7/1 | プラスチックリサイクルとバイオプラスチックの基礎と応用、最新動向 | オンライン | |
| 2025/7/2 | 高分子結晶化の基礎と制御および分析技術 | オンライン | |
| 2025/7/4 | ナノインプリントの材料、プロセスの設計とVR/AR、半導体プロセスへの応用技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2022/5/30 | 世界のバイオプラスチック・微生物ポリマー 最新業界レポート |
| 2021/12/24 | 動的粘弾性測定とそのデータ解釈事例 |
| 2021/7/30 | 水と機能性ポリマーに関する材料設計、最新応用 |
| 2021/7/28 | プラスチックリサイクル |
| 2021/6/29 | UV硬化樹脂の開発動向と応用展開 |
| 2021/5/31 | 高分子材料の劣化・変色対策 |
| 2021/5/31 | 重合開始剤、硬化剤、架橋剤の選び方、使い方とその事例 |
| 2021/4/30 | 建築・住宅用高分子材料の要求特性とその開発、性能評価 |
| 2021/1/29 | 高分子材料の絶縁破壊・劣化メカニズムとその対策 |
| 2020/11/30 | 高分子の成分・添加剤分析 |
| 2020/11/30 | 高分子の延伸による分子配向・結晶化メカニズムと評価方法 |
| 2020/10/30 | ポリウレタンを上手に使うための合成・構造制御・トラブル対策及び応用技術 |
| 2020/9/30 | 食品容器包装の新しいニーズ、規制とその対応 |
| 2020/3/31 | 自己修復材料、自己組織化、形状記憶材料の開発と応用事例 |
| 2020/1/31 | 添加剤の最適使用法 |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2019/10/31 | UV硬化技術の基礎と硬化不良対策 |
| 2019/1/31 | マテリアルズ・インフォマティクスによる材料開発と活用集 |
| 2018/11/30 | エポキシ樹脂の高機能化と上手な使い方 |
| 2018/7/31 | 高耐熱樹脂の開発事例集 |