技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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| 2025/5/12 | 分子動力学 (MD) 法の基本原理・具体的な技法から高分子材料開発への応用 | オンライン | |
| 2025/5/13 | リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた応用技術、今後の展望 | オンライン | |
| 2025/5/13 | 高分子の構造解析手法と構造制御技術 | オンライン | |
| 2025/5/13 | 高分子材料 (樹脂・ゴム材料) における変色劣化の機構とその防止技術 | オンライン | |
| 2025/5/14 | ポリマーアロイの基本、構造・物性および新規ポリマーアロイの材料設計の必須 & 実践知識 | オンライン | |
| 2025/5/14 | プラスチック、フィルムにおける応力/ひずみ発生のメカニズムとその評価、応用 | オンライン | |
| 2025/5/14 | プラスチックリサイクル技術の現状・課題・最新動向 | オンライン | |
| 2025/5/15 | ゴム材料における摩擦・摩耗現象の理解と制御・対処に必要な基礎知識 | オンライン | |
| 2025/5/15 | ポリウレタンの物性制御と分析、応用 | オンライン | |
| 2025/5/15 | 樹脂の硬化反応におけるレオロジー解析 | オンライン | |
| 2025/5/16 | 樹脂中へのフィラーの分散・配向制御とその応用 | オンライン | |
| 2025/5/19 | ブリードアウトの発生メカニズムと制御、測定法 | オンライン | |
| 2025/5/20 | 次世代バイオプラスチックの開発最前線 | オンライン | |
| 2025/5/20 | 二軸押出機による混練技術とプロセス最適化 | オンライン | |
| 2025/5/20 | プラスチックリサイクル技術の現状・課題・最新動向 | オンライン | |
| 2025/5/21 | プラスチック発泡体の製法、評価方法、原理、不良原因とその対策 | オンライン | |
| 2025/5/21 | 3Dプリンタを用いたゲルの成形技術 | オンライン | |
| 2025/5/27 | 基礎から学ぶ実務者のための強度設計入門 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/7/29 | サステナブルなプラスチックの技術と展望 |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 (書籍版 + CD版) |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 |
| 2024/7/17 | 世界のリサイクルPET 最新業界レポート |
| 2024/6/28 | ハイドロゲルの特性と作製および医療材料への応用 |
| 2024/5/30 | PETボトルの最新リサイクル技術動向 |
| 2024/2/29 | プラスチックのリサイクルと再生材の改質技術 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2023/10/31 | エポキシ樹脂の配合設計と高機能化 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
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| 2022/10/5 | 世界のプラスチックリサイクル 最新業界レポート |
| 2022/8/31 | ポリイミドの高機能設計と応用技術 |
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