技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(2024年1月22日 10:30〜12:00)
レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する。
(2024年1月22日 13:00〜14:30)
コンピュータ性能の更なる向上が要求されている半導体分野において、EUVリソグラフィが実現された。本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げながら紹介する。
(2024年1月22日 14:45〜16:15)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法についても、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
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| 2025/4/15 | 押出機・混練機内の高分子材料の輸送・溶融と混練技術 | オンライン | |
| 2025/4/15 | ナノフィラーの高分散・充填化技術の基礎と機能性ナノコンポジットの開発動向 | オンライン | |
| 2025/4/15 | レオロジーの基礎と測定法 | オンライン | |
| 2025/4/15 | プラスチック強度設計に必要な材料特性と設計の進め方 | オンライン | |
| 2025/4/16 | ヒートシールのくっつくメカニズムと不具合対策、品質評価 | オンライン | |
| 2025/4/17 | 超分子架橋を駆使した機能性高分子材料 | オンライン | |
| 2025/4/17 | プラスチック/ゴムの劣化・破壊メカニズムとその事例および寿命予測法 | オンライン | |
| 2025/4/17 | 低誘電性樹脂の開発と伝送損失の低減、高速・高周波通信への対応 | オンライン | |
| 2025/4/17 | メタルレジストの特徴とEUV露光による反応メカニズム | オンライン | |
| 2025/4/18 | イオン交換樹脂を使いこなすための必須知識と応用のポイント | オンライン | |
| 2025/4/18 | ラジカル重合 基礎講座 | オンライン | |
| 2025/4/18 | 電気光学 (EO) ポリマーの基礎と評価技術および光制御デバイスへの応用 | オンライン | |
| 2025/4/21 | はじめてのプラスチック材料と成形法 | オンライン | |
| 2025/4/21 | UV硬化樹脂の硬化不良要因と硬化状態の測定・評価技術 | オンライン | |
| 2025/4/21 | ゴム・プラスチック材料の破損、破壊原因とその解析法 | 東京都 | 会場 |
| 2025/4/21 | レオロジー測定・データ解釈の勘どころ | オンライン | |
| 2025/4/21 | サーキュラーエコノミーが目指す持続可能な社会におけるプラスチックの使い方 | オンライン | |
| 2025/4/21 | 微生物劣化のメカニズムと対策技術 | 東京都 | 会場 |
| 2025/4/22 | リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた応用技術、今後の展望 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/7/29 | サステナブルなプラスチックの技術と展望 |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 (書籍版 + CD版) |
| 2024/7/17 | 世界のリサイクルPET 最新業界レポート |
| 2024/6/28 | ハイドロゲルの特性と作製および医療材料への応用 |
| 2024/5/30 | PETボトルの最新リサイクル技術動向 |
| 2024/2/29 | プラスチックのリサイクルと再生材の改質技術 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2023/10/31 | エポキシ樹脂の配合設計と高機能化 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
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| 2023/7/14 | リサイクル材・バイオマス複合プラスチックの技術と仕組 |
| 2023/3/31 | バイオマス材料の開発と応用 |
| 2023/1/31 | 液晶ポリマー (LCP) の物性と成形技術および高性能化 |
| 2023/1/6 | バイオプラスチックの高機能化 |
| 2022/10/5 | 世界のプラスチックリサイクル 最新業界レポート |
| 2022/8/31 | ポリイミドの高機能設計と応用技術 |
| 2022/5/31 | 樹脂/フィラー複合材料の界面制御と評価 |
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