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半導体ウェットエッチングの基礎とプロセス制御およびグリーンプロセス

半導体ウェットエッチングの基礎とプロセス制御およびグリーンプロセス

オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年1月22日〜31日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2024年1月29日まで承ります。

概要

本セミナーでは、ウェットエッチング加工特性に影響する要因とその制御方法やグリーン化への取り組みを詳解いたします。

開催日

  • 2024年1月19日(金) 13時00分 17時00分

修得知識

  • ウェットエッチング加工特性に影響する要因とその制御方法
  • 特に、シリコン異方性ウェットエッチング加工特性とそのメカニズムの詳細
  • 各種半導体デバイス材料のウェットエッチング加工の概要
  • ウェットエッチングのグリーンプロセス技術動向

プログラム

 ウェットエッチング加工は、表面に加工歪が残らないことや化学的・結晶学的な作用に基づく異方性加工が行えるなど、機械的・物理的加工と異なるメリットを持つ.一方、毒劇物となる薬品を使用しなければならず、作業環境や廃棄物への慎重な対応が必要となる.
 上記のような特徴を持つウェットエッチング加工であるが、特に半導体・MEMS加工分野では必要不可欠な加工であり、今後も基盤技術の一つとして持続可能性のあるプロセスにしなければならない.本講演では、半導体材料のウェットエッチング加工の現状を大まかに把握できると共に、特に単結晶シリコンに対するエッチング加工特性とそのメカニズムについて理解頂けるようにする.加えて、エッチングプロセスのグリーン化への取り組みと課題について説明を行う.

  1. ウェットエッチング加工の基礎
    1. ウェットエッチング加工の方法
    2. ウェットエッチングの化学的溶解機構
    3. ウェットエッチング加工の課題
  2. シリコン異方性ウェットエッチング加工特性とメカニズム
    1. 等方性エッチングと異方性エッチング
    2. 代表的な結晶面でのエッチング加工特性
    3. エッチング加工特性に及ぼす各種要因
      • 温度
      • 濃度
      • 液中不純物
      • 電位など
    4. エッチングマスクパターン材料の選択
    5. エッチング加工特性を把握するための実験方法
      • ワゴンホイール法
      • 半球エッチング法など
  3. 各種半導体デバイス材料のウェットエッチング加工
    1. 各種半導体材料のウェットエッチング加工特性
    2. 化学的作用に別の作用を組み合わせたエッチング方法
      • 光電気化学
      • 金属アシストなど
  4. ウェットエッチングのグリーンプロセス化の取り組み
    1. エッチング液の低濃度化と課題
    2. エッチング液の少量化と課題
      • 液滴を用いたエッチング方法
    3. グリーンプロセス化の動向

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

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  • 視聴期間は2024年1月22日〜31日を予定しております。
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