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ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望

ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望

~従来エッチングの課題・ALEの基本原理・各種材料での開発事例~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。

開催日

  • 2022年11月11日(金) 13時00分16時30分

受講対象者

  • プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者
    • MEMS
    • 半導体
    • 微細回路 など
  • 半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方
  • これからプロセスプラズマを扱う方
  • プロセスガスの開発に携わっている方

修得知識

  • 半導体デバイス製造の開発動向と先端課題
  • ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング
  • ALE (アトミック レイヤー エッチング) の原理
  • ALEの各種手法、および様々な材料のALE研究開発事例

プログラム

 半導体加工の微細化は原子層レベルに到達しており、3次元構造化と積層化による集積度向上が加速しています。また、ポストスケーリングに向けて、新構造トランジスタや新材料の検討が進んでいます。このため今後の半導体製造では、様々な膜種を原子層レベルの寸法精度でエッチング加工する技術が重要になります。
 そこで本講座では、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説します。

  1. 半導体デバイス製造におけるエッチング
    1. エッチングとは
    2. エッチング工程の種類
  2. デバイス動向とエッチングの先端課題
    1. ロジック/メモリーデバイスの動向
    2. エッチングの歴史と先端課題
  3. エッチングの基礎
    1. プラズマエッチング
    2. ウェットエッチング
  4. 従来エッチングの課題
    1. 面内分布
    2. エッチング損傷
  5. アトミック レイヤー エッチング (ALE) の基礎
    1. ALEの原理
    2. ALE手法の分類
  6. 有機金属錯体反応による等方性ALE
    1. La2O3
    2. Co
  7. プラズマアシスト熱サイクルによる等方性ALE
    1. Si3N4
    2. SiO2
    3. TiN
    4. W
  8. ハロゲン化とイオン照射による異方性ALE
    1. Si
  9. フルオロカーボンアシストによる異方性ALE
    1. Si3N4
  10. 今後の課題
    • 質疑応答

講師

  • 篠田 和典
    株式会社 日立ハイテク ナノテクノロジーソリューション事業統括本部 プロセス東京技術センタ
    主任技師

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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