技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。
スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つがゆえである。
しかしながら、同時にこのスパッタ粒子の大きなエネルギーが異物の発生を引き起こしたり、薄膜に大きな応力を残留させたりするという短所をも生じさせることになる。応力の残留と、それにともなう付着力の低下はプロセスやデバイスの信頼性を保証する上での大きな問題であり、スパッタリング生産において必ず遭遇する問題であるともいえる。
本講演では、スパッタリング法の技術基盤を学んでいくことにより、生産あるいは技術開発の現場において遭遇するいろいろなトラブルに対応する力を身につけていくことを目標とし、スパッタリングプロセスの特徴とスパッタリングプロセスにより得られる薄膜物性の特徴を解説する。生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/6/5 | ファイバーレーザ加工技術の基礎と応用および動向 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/6/5 | ダイコーティングの基礎理論とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/5 | 塗膜の濡れ・付着・密着コントロールとトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/6 | 無機ナノ粒子の粒子径、形状制御と表面処理、分散性向上 | オンライン | |
| 2025/6/6 | 無機ナノ粒子の総合知識 | オンライン | |
| 2025/6/10 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/6/11 | 加飾技術の環境負荷低減に向けた開発と自動車への応用 | オンライン | |
| 2025/6/11 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/12 | フッ素フリー撥水・撥油技術の開発動向とその評価 | オンライン | |
| 2025/6/12 | 製造分野における大気圧・真空プラズマ技術を用いた各種表面処理プロセス技術 | オンライン | |
| 2025/6/13 | 繊維、不織布のフッ素フリー撥水技術 | オンライン | |
| 2025/6/13 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2025/6/17 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/6/17 | 無機ナノ粒子の粒子径、形状制御と表面処理、分散性向上 | オンライン | |
| 2025/6/20 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解、最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/23 | 塗料・塗膜の基礎 (含:塗装系) 、塗膜の欠陥不良 (発生メカニズムと対策) | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/25 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
| 2025/6/25 | シランカップリング剤の反応メカニズム解析、界面 (層) 形成・表面の反応状態の分析・評価方法 | オンライン | |
| 2025/6/26 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/30 | ぬれ性の基礎と滑水性の評価・制御 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |