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プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生メカニズムと制御

プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生メカニズムと制御

~3次元構造における新しいプラズマダメージ機構や最新動向についても解説~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。

開催日

  • 2021年4月28日(水) 13時00分16時30分

受講対象者

  • プロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方
  • デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
  • プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識
  • 企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方
  • プロセス設計に従事されている方
  • デバイス信頼性評価に従事されている方など

修得知識

  • デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
  • プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識

プログラム

 現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス (固体) との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
 本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。

  1. プラズマとは
    1. 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
    2. プラズマを理解するためのパラメータ
  2. プラズマエッチングとは
    1. 超微細半導体デバイスの歴史 (加工技術を中心に)
    2. 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
    3. プラズマエッチングの基礎 (反応表面の構造について)
  3. プラズマエッチングにおける技術課題について
    1. 加工形状異常に代表される課題例
    2. 新しい課題~プラズマ誘起ダメージ
  4. プラズマ誘起ダメージについて
    1. 3つのダメージ発生機構
    2. プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
    3. イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
    4. デバイス劣化モデル
    5. 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
  5. 今後の展望~何がわかっていて、何がわからないのか?
    1. 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
    2. プラズマ誘起ダメージを制御 (最適化?) する
    3. プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?
    • 質疑応答

講師

  • 江利口 浩二
    京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻
    ​教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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