技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。
現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス (固体) との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/9/24 | シランカップリング剤の反応、処理層、表面被覆状態、効果の解析 | オンライン | |
| 2026/9/29 | 塗料・塗装工程の基礎と塗膜欠陥の解析・対策技術 | 東京都 | 会場 |
| 2026/9/29 | 「濡れる」「濡れない」 のメカニズムと「ぬれ性」を工業的に活用・評価するためのポイント | オンライン | |
| 2026/9/30 | 耐指紋・防汚材料の設計・評価・応用 | オンライン | |
| 2026/10/6 | 薄膜の剥離・破壊のメカニズムと密着性の評価・解析および改善の手法 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/10/7 | シランカップリング剤の基礎、界面構造制御と機能材料への応用 | オンライン | |
| 2026/10/7 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | 愛知県 | 会場 |
| 2026/10/8 | 薄膜の機械的特性と密着性評価 | オンライン | |
| 2026/10/9 | シランカップリング剤の基礎、界面構造制御と機能材料への応用 | オンライン | |
| 2026/10/9 | 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年秋版) | オンライン | |
| 2026/10/14 | ウェットエッチングの基礎と形状コントロール及びトラブル対策とノウハウ | オンライン | |
| 2026/10/15 | メタオプティクス・メタサーフェス・メタレンズの基礎から設計・解析、製造・評価、応用展開 | オンライン | |
| 2026/10/15 | プラスチックめっきの基礎、技術動向と不良対策 | オンライン | |
| 2026/10/16 | シランカップリング剤の分析技術 | オンライン | |
| 2026/10/16 | ぬれの基礎と実用的な撥水・撥油/親水処理技術の最新研究開発動向 | オンライン | |
| 2026/10/16 | プラスチックめっきの基礎、技術動向と不良対策 | オンライン | |
| 2026/10/19 | ぬれの基礎と実用的な撥水・撥油/親水処理技術の最新研究開発動向 | オンライン | |
| 2026/10/19 | プラズマ表面反応制御によるダイヤモンド・ワイドギャップ半導体材料の原子精度加工 | オンライン | |
| 2026/10/20 | 薄膜の機械的特性と密着性評価 | オンライン | |
| 2026/10/21 | プラズマ表面反応制御によるダイヤモンド・ワイドギャップ半導体材料の原子精度加工 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |