技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
EUVリソグラフィ技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。欧米、アジアを中心に半導体技術の世界覇権争いが激化しています。このような状況の中で、EUVリソグラフィ技術開発の黎明期から、現在、そして今後の展望を正しく理解し、今後の半導体およびその周辺技術開発に生かして頂きたいと考えています。これを目的にして、EUVリソグラフィの光学系、レジスト、マスク、ペリクル技術に加えて、これらの評価技術について紹介します。兵庫県立大学では1996年より25年間に亘り、EUVリソグラフィの基盤技術開発に取り組んで参りました。ニュースバル放射光施設でのEUVリソグラフィ技術開発にも言及したいと存じます。
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/10/29 | プラスチックの破壊メカニズムと材料の強度設計 | オンライン | |
| 2024/10/29 | 高分子・樹脂・フィルムにおける延伸配向、結晶化挙動および屈折率・複屈折の考え方とその測定方法 | オンライン | |
| 2024/10/29 | UV硬化の基礎と硬化不良対策および影部の硬化 | 東京都 | 会場 |
| 2024/10/29 | 高分子技術者のためのレオロジー入門 | 東京都 | オンライン |
| 2024/10/29 | 加速する国内外のプラスチック規制の動向とリサイクルの最新事情 | オンライン | |
| 2024/10/30 | プラスチック金型設計・加工技術の基礎から実践的応用 | オンライン | |
| 2024/10/30 | ヒートシールの基礎、接合のメカニズムと品質管理・不具合対策 | オンライン | |
| 2024/10/30 | 天然植物繊維を強化材とする複合材料の基礎と応用 | 東京都 | 会場 |
| 2024/10/30 | 無機ナノフィラーのポリマーへの分散・複合化技術 | オンライン | |
| 2024/10/31 | ナノインプリントのメカニズムと欠陥対策、半導体デバイスへの適用 | オンライン | |
| 2024/10/31 | プラスチック成形品、フィルムにおける残留応力・歪み発生メカニズムとアニール処理による対策 | オンライン | |
| 2024/10/31 | 樹脂部品開発のためのCAE (Computer Aided Engineering) | オンライン | |
| 2024/10/31 | リグニンの構造・特性と産業利用の可能性 | オンライン | |
| 2024/11/1 | ゴム材料のトライボロジーと摩擦、摩耗の制御技術 | オンライン | |
| 2024/11/1 | 結晶性高分子の構造解析手法 | オンライン | |
| 2024/11/5 | 世界のプラスチック産業・最新加工技術・関連法規制を俯瞰したバイオプラスチック活用戦略 | オンライン | |
| 2024/11/5 | リビング重合の基礎知識とリビングラジカル重合の応用技術 | オンライン | |
| 2024/11/6 | 射出成形技術の基礎と不良対策 | オンライン | |
| 2024/11/6 | プラスチック金型設計・加工技術の基礎から実践的応用 | オンライン | |
| 2024/11/7 | 高分子分散剤の種類、作用機構、取捨選択と効果的な活用方法 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/3/18 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2017/7/31 | 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集 |
| 2017/7/31 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 |
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |
| 2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |