半導体デバイス製造における、前工程と後工程、デバイス単体パッケージとシステムモジュール、ウエハプロセスとパネルプロセス等々の従来技術の階層構造が崩れつつあります。そのような状況の中、中間領域プロセス技術は、それぞれに根付いた開発文化が融合することで刻々と進化・深化しており、半導体素子の微細化だけでは得られない付加価値創出の基幹技術に成長しつつあります。
　従来の技術資産を包摂しながら、決して既存技術の延命路線に後戻りすることなく、新しい価値を創出するための開発文化を再構築するためにどうすればよいのか?本講演では、一旦、従来の技術資産と現状の技術課題を整理することで、これから私たちは何をしなければならないのかを考えていきたいと思います。参加される皆様が日々お忙しい中でも自問自答される際の一つの視点として頂ければ幸いです。

1. 半導体デバイスパッケージの変遷 (プロセス技術の視座から)
   1. LSI配線階層とプロセスギャップ
   2. 異種デバイス集積化による機能創出
2. 中間領域プロセスによる付加価値創出
   1. 中間領域プロセスの位置付け
   2. 最近の中間領域プロセス開発による製品化事例
   3. 従来の半導体後工程の前工程化
   4. 体験的中間領域プロセス開発前史 (80年代後半～00年代前半)
3. 三次元集積デバイスのFOWLP化
   1. Fan.In・Fan.Out WLPの類型分類
   2. FOWLPの現状と課題
      1. 再構成基板形成・支持基板剥離
      2. 材料物性指標
      3. プロセスインテグレーション
      4. 信頼性評価事例
4. FOPLP化の課題生産性向上
   1. 生産性向上の期待
   2. 克服すべき課題 (量産ライン構築の文化ギャップ)
   3. パネルレベルプロセス開発事例
5. 今後の技術動向、市場動向
   1. FOWLP, FOPLPの市場性
   2. 異種デバイスの三次元集積化に向けて
   3. まとめ (日本で開発をする意義)
6. 質疑応答