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半導体チップレットと先端パッケージングの最新開発動向と展望

半導体チップレットと先端パッケージングの最新開発動向と展望

オンライン 開催

開催日

  • 2025年4月9日(水) 13時30分16時30分

修得知識

  • 3D集積LSI/先端パッケージ技術の最新の開発動向
  • LSIの3次元化に向けた最新の接合技術
  • 話題のBackside Power Delivery Network (BSPDN) で用いられる要素技術、評価手法

プログラム

 半導体技術における微細化のコスト限界を迎えるなか、後工程を活用したチップレット、3次元集積技術が今後の半導体開発の鍵となっている。本講義では、 (1) 先端3Dロジック半導体、 (2) チップレット集積について、学会等のデータをもとに先端研究開発の最新動向を紹介する。特に、2nmノード以降のロジック半導体で期待される「Backside Power Delivery Network (BSPDN) 」やチップレットにおける「ハイブリッド接合技術」が注目されている。ハイブリッド接合は、裏面照射型CMOSセンサーや3Dフラッシュメモリなどで実用化が進んでいる。
 また、チップレット集積への応用では装置、材料、集積技術のすべてにおいて課題が山積しており、各社熾烈な開発競争が繰り広げられている。講義では、これら技術や評価手法、最新動向を解説する。

  1. 3Dロジックデバイス
    • BSPDNとは?
    • 開発動向
    • 必要となる要素技術
  2. Wafer-to-Waferハイブリッド接合
    • ハイブリッド接合とは?
    • 開発動向
    • Cuパッドデザイン
    • アライメント精度
    • 接合絶縁膜
    • めっき技術
    • CMP技術
    • 洗浄技術
    • プラズマ活性化技術
    • 接合強度測定
  3. Die-to-Waferハイブリッド接合
    • チップレット
    • ダイレベルハイブリッド
    • ダイボンダー
    • コレクティブボンディング
    • リコンストラクティッドボンディング
    • 接合強度測定手法

講師

  • 井上 史大
    横浜国立大学 理工学部 機械・材料・海洋系学科
    准教授

主催

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受講料

1名様
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)
複数名
: 18,000円 (税別) / 19,800円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

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    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 36,000円(税別) / 39,600円(税込)
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  • Eメール案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
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    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)

アカデミック割引

  • 1名様あたり 24,000円(税別) / 26,400円(税込)

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